1. Előnyös a szigetelőfólia porlasztásánál és bevonatolásánál. Az elektróda polaritásának gyors változása felhasználható szigetelő célpontok közvetlen porlasztására szigetelőfóliák előállításához. Ha egyenáramú áramforrást használnak a szigetelőfólia porlasztásához és lerakásához, a szigetelőfólia megakadályozza a pozitív ionok bejutását a katódba, így egy pozitív ion felhalmozódási réteget képez, amely hajlamos a lebomlásra és a gyulladásra. A szigetelőfólia anódra való lerakása után az elektronok nem jutnak be az anódba, ami az anód eltűnésének jelenségét eredményezi. Ha rádiófrekvenciás áramforrást használnak a szigetelőfólia bevonására, az elektródák váltakozó polaritása miatt a ciklus első felében a katódon felhalmozódott pozitív töltéseket a ciklus második felében az elektronok semlegesítik, az anódon felhalmozódott elektronokat pedig a pozitív ionok. A ciklus második felében lezajló ellentétes folyamat kiküszöböli a töltések felhalmozódását az elektródán, és a kisülési folyamat normálisan folytatódhat.
2. A nagyfrekvenciás elektródák önfeszítő feszültséget generálnak. A lapos elektróda szerkezetű RF eszközben a kapacitív csatolású illesztést alkalmazó áramkörben lévő nagyfrekvenciás elektródák önfeszítő feszültséget generálnak. Az elektronvándorlási sebesség és az ionvándorlási sebesség közötti hatalmas különbség kisüléskor lehetővé teszi az elektronok számára, hogy egy adott időpontban nagyobb mozgási sebességet érjenek el, míg a lassabb ionsebesség felhalmozódást okoz. A nagyfrekvenciás elektróda minden ciklus nagy részében negatív potenciálon van, ami negatív feszültséget eredményez a talajon, ami a nagyfrekvenciás elektróda önfeszítő feszültségének jelensége.
Az RF kisülési elektróda által generált önfeszültség felgyorsítja a katódelektróda ionbombázását, ami folyamatosan másodlagos elektronokat bocsát ki a kisülési folyamat fenntartása érdekében, és az önfeszültség hasonló szerepet játszik, mint a katódesés az egyenáramú parázskisülésben. Bár RF tápegységet használnak, a kisülés stabil lehet a nagyfrekvenciás elektróda által generált 500-1000 V-os önfeszültségnek köszönhetően.
3. A rádiófrekvenciás kisülés fontos szerepet játszik a később bemutatott légköri nyomáson fellépő parázskisülésben és a dielektromos gáttal fellépő parázskisülésben.
Közzététel ideje: 2023. június 21.