Depozisyon chimik vapè metal-òganik (MOCVD), sous materyèl gazez la se gaz konpoze metal-òganik, epi pwosesis reyaksyon debaz depo a sanble ak CVD.
1. Gaz kri MOCVD
Sous gaz ki itilize pou MOCVD a se gaz konpoze metal-òganik (MOC). Konpoze metal-òganik yo se konpoze ki estab ki pwodui lè yo konbine sibstans òganik ak metal. Konpoze òganik yo gen alkil, aromatik. Alkil yo gen ladan metil, etil, propil, ak butil. Alkil yo gen ladan metil, etil, propil, ak butil. Aromatik yo gen ladan omolog fenil, trimetil galyòm, [Ga(CH3)3], trimetil aliminyòm [Al(CH3)3] pou depo mikwoelektwonik, optoelektwonik, semi-kondiktè nan twa, senk konpoze nan kouch fim nan, tankou Ga(CH3)3 Epi amonyak ka nan wafer Silisyòm oswa safi sou kwasans epitaksiyal lanp LED nan kouch liminesan InGaN lan. Lanp LED yo ekonomize plis pase 90% enèji nan lanp tengstèn enkandesan, plis pase 60% ekonomize enèji nan lanp fliyoresan. Lanp LED yo 90% pi efikas nan enèji pase lanp tengstèn enkandesan ak 60% pi efikas nan enèji pase lanp fliyoresan. Jodi a, tout kalite lanp lari, lanp ekleraj ak lanp otomobil fondamantalman itilize fim ki emèt limyè LED ki pwodui pa MOCVD.
2. Tanperati depo
Tanperati dekonpozisyon konpoze metal òganik yo ba, epi tanperati depo a pi ba pase HCVD. Tanperati depo TiN ki depoze pa MOCVD a ka redwi a anviwon 500 degre.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 20 Oktòb 2023