Teknoloji depo vapè chimik plasma amelyore ak fil cho a itilize yon zam ak fil cho pou emèt plasma ak fil, ke yo rele teknoloji PECVD ak fil cho. Teknoloji sa a sanble ak teknoloji kouch iyon zam ak fil cho a, men diferans lan se ke fim solid ki jwenn pa kouch iyon zam ak fil cho a itilize koule elektwon limyè ak ki emèt pa zam ak fil cho a pou chofe epi evapore metal ki nan kribib la, pandan ke PECVD limyè ak fil cho a resevwa gaz reyaksyon, tankou CH4 ak H2, ki itilize pou depoze fim dyaman. Lè yo konte sou kouran egzeyat ak dansite wo ki emèt pa zam ak fil cho a, iyon gaz reyaktif yo eksite pou jwenn divès patikil aktif, tankou iyon gaz, iyon atomik, gwoup aktif, ak sou sa.
Nan aparèy PECVD ak fil cho a, de bobin elektwomayetik toujou enstale deyò chanm kouch la, sa ki lakòz koule elektwon ki gen gwo dansite a vire pandan mouvman an nan direksyon anod la, sa ki ogmante pwobabilite kolizyon ak iyonizasyon ant koule elektwon an ak gaz reyaksyon an. Bobin elektwomayetik la kapab tou konvèje nan yon kolòn ak pou ogmante dansite plasma nan tout chanm depozisyon an. Nan plasma ak, dansite patikil aktif sa yo wo, sa ki fè li pi fasil pou depoze fim dyaman ak lòt kouch fim sou pyès la.
—— Atik sa a te pibliye pa Guangdong Zhenhua Technology, yon konpayi...manifakti machin kouch optik.
Dat piblikasyon: 5 me 2023