(1) Gaz pulverizasyon. Gaz pulverizasyon an ta dwe gen karakteristik tankou gwo rannman pulverizasyon, inaktif anvè materyèl sib la, bon mache, fasil pou jwenn ak gwo pite ak lòt karakteristik. Anjeneral, agon se gaz pulverizasyon ki pi ideyal la.
(2) Vòltaj pulverizasyon ak vòltaj substrati. De paramèt sa yo gen yon enpak enpòtan sou karakteristik fim nan, vòltaj pulverizasyon pa sèlman afekte vitès depo a, men tou afekte seryezman estrikti fim ki depoze a. Potansyèl substrati a afekte dirèkteman koule elektwon oswa iyon enjeksyon imen an. Si substrati a konekte a tè, li bonbade pa elektwon ekivalan; si substrati a sispann, li nan zòn egzeyat lumineux la pou jwenn yon potansyèl yon ti kras negatif parapò ak tè a nan potansyèl sispansyon V1 la, epi potansyèl plasma a ozalantou substrati V2 a ap pi wo pase potansyèl substrati a, sa ki pral bay yon sèten degre bonbadman elektwon ak iyon pozitif, sa ki lakòz chanjman nan epesè fim nan, konpozisyon, ak lòt karakteristik: si substrati a aplike vòltaj polarizasyon espre, pou li an akò ak polarite akseptasyon elektrik elektwon oswa iyon yo, non sèlman li ka pirifye substrati a epi amelyore adezyon fim nan, men tou chanje estrikti fim nan. Nan kouch pulverizasyon frekans radyo, preparasyon manbràn kondiktè plis polarizasyon DC: preparasyon manbràn dyelèktrik plis polarizasyon akor.
(3) Tanperati substrat la. Tanperati substrat la gen yon pi gwo enpak sou estrès entèn fim nan, sa ki rive paske tanperati a afekte dirèkteman aktivite atòm ki depoze sou substrat la, kidonk detèmine konpozisyon fim nan, estrikti li, gwosè grenn mwayèn li, oryantasyon kristal la ak enkonplete li.
–Atik sa a pibliye pamanifakti machin kouch vakyòmGuangdong Zhenhua
Dat piblikasyon: 5 janvye 2024