1. इन्सुलेशन फिल्म को स्पटरिंग और प्लेटिंग के लिए फायदेमंद। इलेक्ट्रोड ध्रुवता में तेजी से बदलाव का उपयोग इन्सुलेटिंग फिल्मों को प्राप्त करने के लिए इन्सुलेटिंग लक्ष्यों को सीधे स्पटर करने के लिए किया जा सकता है। यदि इन्सुलेशन फिल्म को स्पटर करने और जमा करने के लिए डीसी पावर स्रोत का उपयोग किया जाता है, तो इन्सुलेशन फिल्म कैथोड में सकारात्मक आयनों को प्रवेश करने से रोक देगी, जिससे एक सकारात्मक आयन संचय परत बन जाएगी, जो टूटने और प्रज्वलन के लिए प्रवण है। एनोड पर एक इन्सुलेटिंग फिल्म जमा करने के बाद, इलेक्ट्रॉनों को एनोड में प्रवेश करने से रोक दिया जाता है, जिसके परिणामस्वरूप एनोड गायब होने की घटना होती है। इन्सुलेशन फिल्म को कोट करने के लिए आरएफ पावर स्रोत का उपयोग करते समय, इलेक्ट्रोड की वैकल्पिक ध्रुवता के कारण, चक्र के पहले भाग में कैथोड पर जमा हुए सकारात्मक चार्ज चक्र के दूसरे भाग में इलेक्ट्रॉनों द्वारा बेअसर हो जाएंगे, और एनोड पर जमा हुए इलेक्ट्रॉन सकारात्मक आयनों द्वारा बेअसर हो जाएंगे। दूसरे आधे चक्र में विपरीत प्रक्रिया इलेक्ट्रोड पर चार्ज के संचय को समाप्त कर सकती है, और डिस्चार्ज प्रक्रिया सामान्य रूप से आगे बढ़ सकती है।
2. उच्च आवृत्ति इलेक्ट्रोड स्व पूर्वाग्रह उत्पन्न करते हैं। फ्लैट इलेक्ट्रोड संरचना वाले आरएफ डिवाइस में, कैपेसिटिव कपलिंग मिलान का उपयोग करके सर्किट में उच्च आवृत्ति इलेक्ट्रोड स्व पूर्वाग्रह वोल्टेज उत्पन्न करते हैं। डिस्चार्ज में इलेक्ट्रॉन माइग्रेशन गति और आयन माइग्रेशन गति के बीच बहुत बड़ा अंतर इलेक्ट्रॉनों को एक निश्चित समय में अधिक गति प्राप्त करने में सक्षम बनाता है, जबकि धीमी आयन गति संचय का कारण बनती है। उच्च आवृत्ति इलेक्ट्रोड प्रत्येक चक्र के अधिकांश समय के लिए नकारात्मक क्षमता पर होता है, जिसके परिणामस्वरूप भूभाग पर नकारात्मक वोल्टेज होता है, जो उच्च आवृत्ति इलेक्ट्रोड के स्व पूर्वाग्रह की घटना है।
आरएफ डिस्चार्ज इलेक्ट्रोड द्वारा उत्पन्न स्व पूर्वाग्रह कैथोड इलेक्ट्रोड के आयन बमबारी को तेज करता है ताकि डिस्चार्ज प्रक्रिया को बनाए रखने के लिए लगातार माध्यमिक इलेक्ट्रॉनों का उत्सर्जन किया जा सके, और डीसी ग्लो डिस्चार्ज में कैथोड ड्रॉप के लिए स्व पूर्वाग्रह एक समान भूमिका निभाता है। हालांकि आरएफ बिजली की आपूर्ति का उपयोग करते हुए, उच्च आवृत्ति इलेक्ट्रोड द्वारा उत्पन्न स्व पूर्वाग्रह वोल्टेज 500-1000V तक पहुंचने के कारण निर्वहन स्थिर हो सकता है।
3. रेडियो आवृत्ति डिस्चार्ज, बाद में शुरू किए गए वायुमंडलीय दबाव चमक डिस्चार्ज और ढांकता हुआ अवरोध चमक डिस्चार्ज में एक महत्वपूर्ण भूमिका निभाता है।
पोस्ट करने का समय: जून-21-2023