Ka hoʻohana ʻana i ka hoʻokuʻu RF

1.Beneficial no ka sputtering a me ka plating insulation film. Hiki ke hoʻohana ʻia ka hoʻololi wikiwiki ʻana i ka polarity electrode i ka sputter insulating target e loaʻa ai nā kiʻiʻoniʻoni insulating. Inā hoʻohana ʻia kahi kumu mana DC no ka sputter a waiho i ke kiʻi ʻoniʻoni insulation, e ālai ka kiʻi insulation i nā ion maikaʻi mai ke komo ʻana i ka cathode, e hana ana i kahi papa hōʻiliʻili ion maikaʻi, hiki ke hoʻopau a hoʻopau ʻia. Ma hope o ka waiho ʻana i kahi kiʻiʻoniʻoni insulating ma ka anode, ua ālai ʻia nā electrons mai ke komo ʻana i ka anode, ka hopena i ke ʻano o ka nalowale anode. I ka hoʻohana ʻana i kahi kumu mana RF e hoʻopaʻa i ke kiʻi insulation, ma muli o ke ʻano o ka polarity o nā electrodes, e hoʻokaʻawale ʻia nā kumukūʻai maikaʻi i hōʻiliʻili ʻia ma ka cathode i ka hapa mua o ka pōʻai e nā electrons i ka hapa lua o ka pōʻai, a e hoʻopau ʻia nā electrons i hōʻiliʻili ʻia ma ka anode e nā ion maikaʻi. Hiki i ke kaʻina hana ʻē aʻe i ka hapa lua o ka pōʻai ke hoʻopau i ka hōʻiliʻili ʻana o nā uku ma ka electrode, a hiki i ke kaʻina hoʻokuʻu ke hele maʻamau.

2. High frequency electrodes hoʻohua ponoʻī. I ka hāmeʻa RF me kahi hoʻolālā electrode pālahalaha, nā electrodes kiʻekiʻe i ke kaapuni me ka hoʻohana ʻana i ka hoʻohui ʻana i ka capacitive e hoʻohua i ka uila ponoʻī. ʻO ka ʻokoʻa nui ma waena o ka wikiwiki o ka neʻe ʻana o ka electron a me ka wikiwiki o ka neʻe ʻana o ka ion i ka hoʻokuʻu ʻana e hiki ai i nā electrons ke hoʻokō i ka wikiwiki o ka neʻe ʻana i ka manawa i hāʻawi ʻia, ʻoiai ka wikiwiki o ka ion māmā ke kumu o ka hōʻiliʻili. Aia ka electrode alapine kiʻekiʻe ma kahi kūpono maikaʻi ʻole no ka hapa nui o kēlā me kēia pōʻai, e hopena i ka volta maikaʻi ʻole ma ka ʻāina, ʻo ia ke ʻano o ka hoʻohālikelike ponoʻī o ka electrode kiʻekiʻe.

ʻO ka manaʻo ponoʻī i hana ʻia e ka RF discharge electrode e hoʻolalelale i ka hoʻokuʻu ʻana i ka ion o ka electrode cathode e hoʻomau mau i nā electrons Secondary e mālama i ke kaʻina hoʻokuʻu, a ʻo ke ʻano ponoʻī e like me ka hāʻule ʻana o ka cathode i ka DC glow discharge. ʻOiai ke hoʻohana nei i kahi mana mana RF, hiki ke kūpaʻa ka hoʻokuʻu ʻana ma muli o ka uila bias ponoʻī i hana ʻia e ka electrode kiʻekiʻe a hiki i 500-1000V.

3. He kuleana koʻikoʻi ka hoʻokuʻu ʻana o ka lekiō i ka hoʻokuʻu ʻana o ka lewa a me ka dielectric barrier glow discharge i hoʻokomo ʻia ma hope.