ધાતુ કાર્બનિક રાસાયણિક વરાળ નિક્ષેપ (MOCVD), વાયુયુક્ત પદાર્થનો સ્ત્રોત ધાતુ કાર્બનિક સંયોજન ગેસ છે, અને નિક્ષેપની મૂળભૂત પ્રતિક્રિયા પ્રક્રિયા CVD જેવી જ છે.
૧.MOCVD કાચો ગેસ
MOCVD માટે વપરાતો વાયુ સ્ત્રોત ધાતુ-કાર્બનિક સંયોજન (MOC) ગેસ છે. ધાતુ-કાર્બનિક સંયોજનો કાર્બનિક પદાર્થોને ધાતુઓ સાથે જોડીને ઉત્પન્ન થતા સ્થિર સંયોજનો છે. કાર્બનિક સંયોજનોમાં આલ્કિલ, સુગંધિત હોય છે. આલ્કિલમાં મિથાઈલ, ઇથિલ, પ્રોપાઇલ અને બ્યુટાઇલનો સમાવેશ થાય છે. આલ્કિલમાં મિથાઈલ, ઇથિલ, પ્રોપાઇલ અને બ્યુટાઇલનો સમાવેશ થાય છે. ફિનાઇલ હોમોલોગ્સ, ટ્રાઇમિથાઇલ ગેલિયમ, [Ga(CH3)3], ટ્રાઇમિથાઇલ એલ્યુમિનિયમ [Al(CH3)3] ફિલ્મ સ્તરમાં ત્રણ, પાંચ સંયોજનોમાં માઇક્રોઇલેક્ટ્રોનિક્સ, ઓપ્ટોઇલેક્ટ્રોનિક્સ, સેમિકન્ડક્ટર્સના નિક્ષેપણ માટે, જેમ કે Ga(CH3)3 અને InGaN લ્યુમિનેસેન્ટ સ્તરમાં LED લેમ્પ્સના એપિટેક્સિયલ વૃદ્ધિ પર સિલિકોન વેફર અથવા નીલમમાં એમોનિયા હોઈ શકે છે. LED લેમ્પ ટંગસ્ટન ઇન્કેન્ડેસન્ટ કરતાં 90% વધુ ઊર્જા-બચત છે, 60% થી વધુ ઊર્જા-બચત ફ્લોરોસન્ટ લેમ્પ્સ. LED લેમ્પ ટંગસ્ટન ઇન્કેન્ડેસન્ટ લેમ્પ્સ કરતાં 90% વધુ ઊર્જા કાર્યક્ષમ છે અને ફ્લોરોસન્ટ લેમ્પ્સ કરતાં 60% વધુ ઊર્જા કાર્યક્ષમ છે. આજકાલ, તમામ પ્રકારના સ્ટ્રીટ લેમ્પ્સ, લાઇટિંગ લેમ્પ્સ અને ઓટોમોબાઈલ લેમ્પ્સ મૂળભૂત રીતે MOCVD દ્વારા ઉત્પાદિત LED પ્રકાશ-ઉત્સર્જન કરતી ફિલ્મોનો ઉપયોગ કરે છે.
2. ડિપોઝિશન તાપમાન
કાર્બનિક ધાતુ સંયોજનોનું વિઘટન તાપમાન ઓછું હોય છે, અને નિક્ષેપણ તાપમાન HCVD કરતા ઓછું હોય છે. MOCVD દ્વારા નિક્ષેપિત TiN નું નિક્ષેપ તાપમાન લગભગ 500 ડિગ્રી સુધી ઘટાડી શકાય છે.
- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ
પોસ્ટ સમય: ઓક્ટોબર-20-2023