(૧) સ્પટરિંગ ગેસ. સ્પટરિંગ ગેસમાં ઉચ્ચ સ્પટરિંગ ઉપજ, લક્ષ્ય સામગ્રી માટે નિષ્ક્રિય, સસ્તી, ઉચ્ચ શુદ્ધતા મેળવવામાં સરળ અને અન્ય લાક્ષણિકતાઓ હોવી જોઈએ. સામાન્ય રીતે કહીએ તો, આર્ગોન વધુ આદર્શ સ્પટરિંગ ગેસ છે.
(2) સ્પટરિંગ વોલ્ટેજ અને સબસ્ટ્રેટ વોલ્ટેજ. આ બે પરિમાણો ફિલ્મની લાક્ષણિકતાઓ પર મહત્વપૂર્ણ અસર કરે છે, સ્પટરિંગ વોલ્ટેજ માત્ર ડિપોઝિશન રેટને જ અસર કરતું નથી, પરંતુ ડિપોઝિટ ફિલ્મની રચનાને પણ ગંભીર અસર કરે છે. સબસ્ટ્રેટ પોટેન્શિયલ માનવ ઇન્જેક્શનના ઇલેક્ટ્રોન અથવા આયન પ્રવાહને સીધી અસર કરે છે. જો સબસ્ટ્રેટ ગ્રાઉન્ડેડ હોય, તો તેના પર સમકક્ષ ઇલેક્ટ્રોન દ્વારા બોમ્બમારો કરવામાં આવે છે; જો સબસ્ટ્રેટ સસ્પેન્ડ કરવામાં આવે છે, તો તે સસ્પેન્શન પોટેન્શિયલ V1 ની ગ્રાઉન્ડની તુલનામાં થોડો નકારાત્મક પોટેન્શિયલ મેળવવા માટે ગ્લો ડિસ્ચાર્જ એરિયામાં હોય છે, અને સબસ્ટ્રેટ V2 ની આસપાસના પ્લાઝ્માની પોટેન્શિયલ સબસ્ટ્રેટ પોટેન્શિયલ કરતા વધારે હોય છે, જે ઇલેક્ટ્રોન અને પોઝિટિવ આયનોના બોમ્બમારાનો ચોક્કસ ડિગ્રી આપશે, જેના પરિણામે ફિલ્મની જાડાઈ, રચના અને અન્ય લાક્ષણિકતાઓમાં ફેરફાર થશે: જો સબસ્ટ્રેટ હેતુપૂર્વક બાયસ વોલ્ટેજ લાગુ કરે છે, જેથી તે ઇલેક્ટ્રોન અથવા આયનોની વિદ્યુત સ્વીકૃતિની ધ્રુવીયતા અનુસાર હોય, તો તે માત્ર સબસ્ટ્રેટને શુદ્ધ કરી શકશે નહીં અને ફિલ્મના સંલગ્નતાને વધારી શકશે નહીં, પરંતુ ફિલ્મની રચનાને પણ બદલી શકશે. રેડિયો ફ્રીક્વન્સી સ્પટરિંગ કોટિંગમાં, કંડક્ટર મેમ્બ્રેન વત્તા ડીસી બાયસની તૈયારી: ડાઇલેક્ટ્રિક મેમ્બ્રેન વત્તા ટ્યુનિંગ બાયસની તૈયારી.
(૩) સબસ્ટ્રેટ તાપમાન. સબસ્ટ્રેટ તાપમાન ફિલ્મના આંતરિક તાણ પર વધુ અસર કરે છે, જેનું કારણ એ છે કે તાપમાન સબસ્ટ્રેટ પર જમા થયેલા અણુઓની પ્રવૃત્તિને સીધી અસર કરે છે, આમ ફિલ્મની રચના, રચના, સરેરાશ અનાજનું કદ, સ્ફટિક દિશા અને અપૂર્ણતા નક્કી કરે છે.
- આ લેખ પ્રકાશિત થયો છેવેક્યુમ કોટિંગ મશીન ઉત્પાદકગુઆંગડોંગ ઝેન્હુઆ
પોસ્ટ સમય: જાન્યુઆરી-05-2024