A pulverización catódica con magnetrón reactivo significa que se subministra gas reactivo para reaccionar coas partículas pulverizadas no proceso de pulverización catódica para producir unha película composta. Pode subministrar gas reactivo para reaccionar co obxectivo do composto de pulverización catódica ao mesmo tempo e tamén pode subministrar gas reactivo para reaccionar co obxectivo do metal ou aliaxe de pulverización catódica ao mesmo tempo para preparar unha película composta cunha proporción química determinada. As características da pulverización catódica con magnetrón reactivo para preparar películas compostas son:
(1) Os materiais obxectivo empregados para a pulverización catódica con magnetrón reactivo (obxectivo dun só elemento ou obxectivo de varios elementos) e os gases de reacción son fáciles de obter e teñen unha alta pureza, o que favorece a preparación de películas compostas de alta pureza.
(2) Na pulverización catódica con magnetrón reactivo, axustando os parámetros do proceso de deposición, pódense preparar a proporción química ou non química das películas compostas, para así lograr o propósito de regular as características da película axustando a composición da película.
(3) A temperatura do substrato xeralmente non é demasiado alta durante o proceso de deposición por pulverización catódica reactiva de magnetróns, e o proceso de formación da película normalmente non require que o substrato se quente a temperaturas moi altas, polo que hai menos restricións no material do substrato.
(4) A pulverización catódica con magnetrón reactivo é axeitada para a preparación de películas delgadas homoxéneas de gran superficie e pode lograr unha produción industrializada cunha produción anual dun millón de metros cadrados de revestimento cunha soa máquina. En moitos casos, a natureza da película pódese cambiar simplemente cambiando a proporción de gas reactivo e gas inerte durante a pulverización catódica. Por exemplo, a película pode cambiar de metal a semicondutor ou non metal.
——Este artigo tenfabricante de máquinas de revestimento ao baleiroGuangdong Zhenhua lanzado
Data de publicación: 31 de agosto de 2023