Is e gas todhar meatailt organach stòr stuth gasach tasgadh smùid ceimigeach meatailt organach (MOCVD), agus tha am pròiseas ath-bhualadh bunaiteach airson tasgadh coltach ri CVD.
1. Gas amh MOCVD
Is e gas todhar meatailt-organach (MOC) an stòr gasach a thathar a’ cleachdadh airson MOCVD. Tha todhar meatailt-organach nan todhar seasmhach a thèid a dhèanamh le bhith a’ cothlamadh stuthan organach le meatailtean. Tha alcail, aramatach aig todhar organach. Tha alcail a’ toirt a-steach methyl, ethyl, propyl, agus butyl. Tha alcail a’ toirt a-steach methyl, ethyl, propyl, agus butyl. Tha aramatach a’ toirt a-steach homologues phenyl, trimethyl gallium, [Ga(CH3)3], trimethyl aluminum [Al(CH3)3] airson tasgadh meanbh-eileagtronaigeach, optoelectronaigeach, leth-chonnsachaidhean anns na trì, còig todhar anns an t-sreath film, leithid Ga(CH3)3 Agus faodaidh ammonia a bhith anns a’ chliath silicon no sapphire air fàs epitaxial lampaichean LED ann an sreath luminescent InGaN. Tha lampaichean LED nas motha na lampaichean gealbhruthach tungsten a’ sàbhaladh lùtha 90%, agus nas motha na lampaichean fluorescent a tha a’ sàbhaladh lùtha 60%. Tha lampaichean LED 90% nas èifeachdaiche a thaobh lùtha na lampaichean gealbhruthach tungsten agus 60% nas èifeachdaiche a thaobh lùtha na lampaichean fluorescent. An-diugh, tha filmichean sgaoilidh solais LED air an dèanamh le MOCVD gu bunaiteach air an cleachdadh airson a h-uile seòrsa lampa sràide, lampaichean solais agus lampaichean chàraichean.
2. Teòthachd an tasgaidh
Tha teòthachd lobhadh choimeasgaidhean meatailt organach ìosal, agus tha an teòthachd tasgaidh nas ìsle na teòthachd HCVD. Faodar teòthachd tasgaidh TiN a tha air a thasgadh le MOCVD a lùghdachadh gu timcheall air 500 ceum.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 20 Dàmhair 2023