Bidh teicneòlas tasgadh ceimigeach ceimigeach plasma leasaichte le arc uèir teth a’ cleachdadh gunna arc uèir teth gus plasma arc a leigeil a-mach, air a ghiorrachadh mar theicneòlas PECVD arc uèir teth. Tha an teicneòlas seo coltach ri teicneòlas còmhdach ian gunna arc uèir teth, ach is e an diofar gu bheil am film cruaidh a gheibhear le còmhdach ian gunna arc uèir teth a’ cleachdadh sruth electron solas arc a tha air a sgaoileadh leis a’ ghunna arc uèir teth gus am meatailt anns a’ chriosail a theasachadh agus a ghalachadh, agus tha gasaichean ath-bhualadh, leithid CH4 agus H2, a thathas a’ cleachdadh airson filmichean daoimean a thasgadh, air am biathadh leis an t-solas arc uèir teth PECVD. Le bhith an urra ris an t-sruth sgaoilidh arc àrd-dùmhlachd a tha air a sgaoileadh leis a’ ghunna arc uèir teth, bidh na h-ianan gas ath-ghnìomhach air am brosnachadh gus diofar ghràinean gnìomhach fhaighinn, a’ gabhail a-steach ianan gas, ianan atamach, buidhnean gnìomhach, agus mar sin air adhart.
Anns an inneal PECVD le stuagh uèir theth, tha dà choilich electromagnetic fhathast air an stàladh taobh a-muigh an t-seòmair chòmhdaich, ag adhbhrachadh gum bi an t-sruthadh electron àrd-dùmhlachd a’ rothladh rè na gluasad a dh’ionnsaigh an anod, ag àrdachadh coltachd bualadh agus ianachadh eadar an t-sruthadh electron agus a’ ghas ath-bhualaidh. Faodaidh an coil electromagnetic cuideachd tighinn còmhla ann an colbh stuagh gus dùmhlachd plasma an t-seòmair tasgaidh gu lèir a mheudachadh. Ann am plasma stuagh, tha dùmhlachd nan gràineanan gnìomhach seo àrd, ga dhèanamh nas fhasa filmichean daoimean agus sreathan film eile a thasgadh air a’ phìos obrach.
——Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh le Guangdong Zhenhua Technology, aneach-dèanamh innealan còmhdach optigeach.
Àm puist: 5 Cèitean 2023