(1) Gas spùtaidh. Bu chòir gum biodh feartan aig a’ ghas spùtaidh leithid toradh spùtaidh àrd, neo-ghnìomhach don stuth targaid, saor, furasta fhaighinn, purrachd àrd agus feartan eile. San fharsaingeachd, ’s e argon an gas spùtaidh as fheàrr.
(2) Bholtaids spùtaidh agus bholtaids an t-substrate. Tha buaidh chudromach aig an dà pharaimeatair seo air feartan an fhilm, chan e a-mhàin gu bheil bholtaids spùtaidh a’ toirt buaidh air an ìre tasgaidh, ach cuideachd a’ toirt buaidh mhòr air structar an fhilm a chaidh a thasgadh. Bidh comas an t-substrate a’ toirt buaidh dhìreach air sruthadh electron no ian an stealladh daonna. Ma tha an t-substrate air a thalamh, bidh e air a bhomadh le electronan co-ionann; ma tha an t-substrate air a chrochadh, bidh comas beagan àicheil aige anns an raon sgaoilidh deàrrsadh an coimeas ris an talamh de chomas crochaidh V1, agus bidh comas a’ phlasma timcheall an t-substrate V2 nas àirde na comas an t-substrate, a bheir gu ìre àraid de bhomadh electronan agus ianan adhartach, agus mar thoradh air sin bidh atharrachaidhean ann an tighead, co-dhèanamh agus feartan eile an fhilm: ma chuireas an t-substrate bholtaids claonadh an sàs gu sònraichte, gus am bi e a rèir polarity gabhail dealain electronan no ianan, chan e a-mhàin gun urrainn dha an t-substrate a ghlanadh agus greamachadh an fhilm a leasachadh, ach cuideachd structar an fhilm atharrachadh. Ann an còmhdach spùtaidh tricead rèidio, ullachadh membran giùlain agus claonadh DC: ullachadh membran dielectric agus claonadh gleusaidh.
(3) Teòthachd an t-substrate. Tha buaidh nas motha aig teòthachd an t-substrate air cuideam a-staigh an fhilm, agus tha seo air sgàth gu bheil an teòthachd a’ toirt buaidh dhìreach air gnìomhachd nan dadaman a tha air an tasgadh air an t-substrate, agus mar sin a’ dearbhadh co-dhèanamh an fhilm, structar, meud cuibheasach nan gràn, treòrachadh criostail agus neo-choileantachd.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 5 Faoilleach 2024