1. Gnéithe sciath sputter
I gcomparáid le sciath galúcháin folúis thraidisiúnta, tá na gnéithe seo a leanas ag sciath spútála:
(1) Is féidir aon substaint a spútaradh, go háirithe eilimintí agus comhdhúile a bhfuil pointe leá ard agus brú gaile íseal acu. Chomh fada agus is solad é, bíodh sé ina mhiotal, ina leathsheoltóir, ina inslitheoir, ina chomhdhúil agus ina mheascán, etc., bíodh sé ina bhloc, is féidir ábhar gráinneach a úsáid mar ábhar sprice. Ós rud é nach dtarlaíonn mórán dianscaoilte agus codánúcháin agus ábhair inslithe agus cóimhiotail amhail ocsaídí á spútaradh, is féidir iad a úsáid chun scannáin thanaí agus scannáin chóimhiotail a ullmhú le comhpháirteanna aonfhoirmeacha cosúil le comhpháirteanna an ábhair sprice, agus fiú scannáin fhorsheoltacha le comhdhéanamh casta. Ina theannta sin, is féidir an modh spútaradh imoibríoch a úsáid freisin chun scannáin de chomhdhúile atá go hiomlán difriúil ón ábhar sprice a tháirgeadh, amhail ocsaídí, níotráidí, cairbídí agus sileicídí.
(2) Greamaitheacht mhaith idir an scannán spútartha agus an tsubstráit. Ós rud é go bhfuil fuinneamh na n-adamh spútartha 1-2 ord méide níos airde ná fuinneamh na n-adamh galaithe, gintear fuinneamh teirmeach níos airde mar thoradh ar chomhshó fuinnimh na gcáithníní ardfhuinnimh a thaisctear ar an tsubstráit, rud a fheabhsaíonn greamaitheacht na n-adamh spútartha leis an tsubstráit. Insteallfar cuid de na hadaimh spútartha ardfhuinnimh go céimeanna éagsúla, rud a chruthaíonn ciseal bréag-idirleata ar an tsubstráit áit a "measctar" na hadaimh spútartha agus adaimh ábhar an tsubstráit lena chéile. Ina theannta sin, le linn bhuamáil na gcáithníní spútartha, glantar agus gníomhachtaítear an tsubstráit i gcónaí sa chrios plasma, rud a bhaineann na hadaimh deasctha atá greamaithe go dona, a íonaíonn agus a ghníomhaíonn dromchla an tsubstráit. Mar thoradh air sin, feabhsaítear greamaitheacht na sraithe scannáin spútartha leis an tsubstráit go mór.
(3) Dlús ard sciath spútar, níos lú poill bioráin, agus íonacht níos airde sa tsraith scannáin mar nach bhfuil aon éilliú sa bhreogán ann, rud nach féidir a sheachaint i dtaisceadh gaile folúis le linn an phróisis sciath spútar.
(4) Dea-rialaitheacht agus in-athdhéantacht thiús an scannáin. Ós rud é gur féidir an sruth urscaoilte agus an sruth sprice a rialú ar leithligh le linn sciath spútar, is féidir tiús an scannáin a rialú tríd an sruth sprice a rialú, agus dá bhrí sin, tá inrialaitheacht thiús an scannáin agus in-atáirgtheacht thiús an scannáin trí spútaradh il-spútaradh sciath spútar maith, agus is féidir an scannán de thiús réamhchinntithe a sciathú go héifeachtach. Ina theannta sin, is féidir le sciath spútar tiús scannáin aonfhoirmeach a fháil thar limistéar mór. Mar sin féin, i gcás teicneolaíocht sciath spútar ghinearálta (spútaradh dépholach den chuid is mó), tá an trealamh casta agus teastaíonn gléas ardbhrú uaidh; tá luas foirmithe scannáin an taiscthe spútar íseal, is é 0.1~5nm/nóim an ráta taiscthe galúcháin folúis, agus is é 0.01~0.5nm/nóim an ráta spútaradh; tá ardú teochta an tsubstráit ard agus leochaileach do ghás eisíontas, etc. Mar sin féin, mar gheall ar fhorbairt na teicneolaíochta spútaradh RF agus spútaradh maighnéadrón, tá dul chun cinn mór déanta maidir le taiscthe spútaradh tapa a bhaint amach agus teocht an tsubstráit a laghdú. Ina theannta sin, le blianta beaga anuas, tá modhanna nua sciath spútair á n-imscrúdú – bunaithe ar spútaradh maighnéadróin phlánach – chun brú aeir an spútair a íoslaghdú go dtí spútaradh brú nialasach áit a mbeidh brú an gháis iontógála le linn an spútair nialasach.
Am an phoist: 08 Samhain 2022