Is é foinse an ábhair ghásaigh i dtaisceadh gaile ceimiceach orgánach miotail (MOCVD), gás comhdhúile orgánacha miotail, agus tá an próiseas imoibrithe bunúsach maidir le taisceadh cosúil le CVD.
1. Gás amh MOCVD
Is gás comhdhúile miotail-orgánacha (MOC) an fhoinse ghásach a úsáidtear le haghaidh MOCVD. Is comhdhúile cobhsaí iad comhdhúile miotail-orgánacha a tháirgtear trí shubstaintí orgánacha a chomhcheangal le miotail. Tá ailcile, aramatacha ag comhdhúile orgánacha. Áirítear le hailcile meitile, eitile, próipil, agus bútúil. Áirítear le hailcile meitile, eitile, próipil, agus bútúil. Aramatacha lena n-áirítear homalóga feinile, trímheitil gallium, [Ga(CH3)3], trímheitil alúmanaim [Al(CH3)3] le haghaidh taisciú micrileictreonaice, optoelectronics, leathsheoltóirí sna trí, cúig chomhdhúil sa chiseal scannáin, amhail Ga(CH3)3 Agus is féidir amóinia a bheith sa sceallóg sileacain nó saifír ar fhás eipitacsach lampaí LED sa chiseal lonrúil InGaN. Tá lampaí LED níos mó ná 90% níos coigilte fuinnimh ná lampaí gealbhruthacha tungstain, agus níos mó ná 60% níos coigilte fuinnimh ná lampaí fluaraiseacha. Tá lampaí LED 90% níos éifeachtaí ó thaobh fuinnimh de ná lampaí gealbhruthacha tungstain agus 60% níos éifeachtaí ó thaobh fuinnimh de ná lampaí fluaraiseacha. Sa lá atá inniu ann, úsáideann gach cineál lampaí sráide, lampaí soilsithe agus lampaí gluaisteán scannáin astaithe solais LED a tháirgeann MOCVD go bunúsach.
2. Teocht an taiscthe
Tá teocht dianscaoilte na gcomhdhúl miotail orgánach íseal, agus tá an teocht taiscthe níos ísle ná teocht HCVD. Is féidir teocht taiscthe TiN a thaisctear le MOCVD a laghdú go dtí thart ar 500 céim.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 20 Deireadh Fómhair 2023