Úsáideann an teicneolaíocht taiscthe gaile ceimiceach plasma feabhsaithe stua sreinge te an gunna stua sreinge te chun plasma stua a astú, ar a dtugtar teicneolaíocht PECVD stua sreinge te giorraithe. Tá an teicneolaíocht seo cosúil leis an teicneolaíocht sciath ian gunna stua sreinge te, ach is é an difríocht ná go n-úsáideann an scannán soladach a fhaightear trí sciath ian gunna stua sreinge te an sreabhadh leictreon solais stua a astaítear ón gunna stua sreinge te chun an miotal sa bhreogán a théamh agus a ghalú, agus beathaítear an solas stua sreinge te PECVD le gáis imoibrithe, amhail CH4 agus H2, a úsáidtear chun scannáin diamant a thaisceadh. Trí bhrath ar an sruth urscaoilte stua ard-dlúis a astaítear ón gunna stua sreinge te, spreagtar na hiain gháis imoibríocha chun cáithníní gníomhacha éagsúla a fháil, lena n-áirítear iain gháis, iain adamhacha, grúpaí gníomhacha, agus mar sin de.
Sa fheiste PECVD stua sreinge te, tá dhá chorna leictreamaighnéadacha suiteáilte lasmuigh den seomra sciath fós, rud a fhágann go rothlaíonn an sreabhadh leictreon ard-dlúis le linn an ghluaiseachta i dtreo an anóid, rud a mhéadaíonn an dóchúlacht imbhuailte agus ianúcháin idir an sreabhadh leictreon agus an gás imoibrithe. Is féidir leis an gcorna leictreamaighnéadach teacht le chéile i gcolún stua freisin chun dlús plasma an tseomra taiscthe ar fad a mhéadú. I plasma stua, tá dlús na gcáithníní gníomhacha seo ard, rud a fhágann go bhfuil sé níos éasca scannáin diamant agus sraitheanna scannáin eile a thaisceadh ar an bpíosa oibre.
——Foilsíodh an t-alt seo ag Guangdong Zhenhua Technology, amonaróir meaisíní sciath optúla.
Am an phoist: 5 Bealtaine 2023