1. Foardielich foar it sputterjen en platearjen fan isolaasjefilm. De rappe feroaring yn elektrodepolariteit kin brûkt wurde om isolaasjedoelen direkt te sputterjen om isolaasjefilms te krijen. As in DC-stroomboarne brûkt wurdt om isolaasjefilm te sputterjen en ôf te setten, sil de isolaasjefilm positive ioanen blokkearje om de katode yn te gean, wêrtroch in positive ioanenakkumulaasjelaach ûntstiet, dy't gefoelich is foar ôfbraak en ûntstekking. Nei it ôfsetten fan in isolaasjefilm op 'e anode wurde elektroanen blokkearre om de anode yn te gean, wat resulteart yn it ferskynsel fan anodeferdwining. By it brûken fan in RF-stroomboarne om de isolaasjefilm te beklaaien, sille troch de wikseljende polariteit fan 'e elektroden de positive ladingen dy't yn 'e earste helte fan' e syklus op 'e katode sammele binne, neutralisearre wurde troch elektroanen yn 'e twadde helte fan' e syklus, en de elektroanen dy't op 'e anode sammele binne, sille neutralisearre wurde troch positive ioanen. It tsjinoerstelde proses yn 'e twadde helte fan' e syklus kin de opgarjen fan ladingen op 'e elektrode eliminearje, en it ûntladingsproses kin normaal trochgean.
2. Hege frekwinsje-elektroden generearje selsbias. Yn it RF-apparaat mei in platte elektrodestruktuer generearje de hege frekwinsje-elektroden yn it sirkwy mei help fan kapasitive koppeling-oanpassing in selsbiasspanning. It enoarme ferskil tusken de migraasjesnelheid fan elektronen en de migraasjesnelheid fan ionen by ûntlading stelt elektroanen yn steat om in gruttere bewegingssnelheid te berikken op in bepaald momint, wylst de stadiger ionsnelheid opgarjen feroarsaket. De hege frekwinsje-elektrode is foar it grutste part fan elke syklus op in negative potinsjeel, wat resulteart yn in negative spanning op it terrein, wat it ferskynsel fan selsbias fan 'e hege frekwinsje-elektrode is.
De selsbias dy't generearre wurdt troch de RF-ûntladingselektrode fersnelt it ionbombardemint fan 'e katodeelektrode om kontinu sekundêre elektroanen út te stjoeren om it ûntladingsproses te behâlden, en de selsbias spilet in ferlykbere rol as de katodefal yn DC-gloeiûntlading. Hoewol't in RF-stroomfoarsjenning brûkt wurdt, kin de ûntlading stabyl wêze fanwegen de selsbiasspanning dy't generearre wurdt troch de hege-frekwinsje-elektrode dy't 500-1000V berikt.
3. Radiofrekwinsje-ûntlading spilet in wichtige rol yn 'e gloeûntlading troch atmosfearyske druk en de gloeûntlading troch diëlektryske barriêre dy't letter yntrodusearre binne.
Pleatsingstiid: 21 juny 2023