Metaal-organyske gemyske dampôfsetting (MOCVD), de boarne fan gasfoarmich materiaal is metaal-organyske ferbininggas, en it basisreaksjeproses fan ôfsetting is fergelykber mei CVD.
1.MOCVD rau gas
De gasboarne dy't brûkt wurdt foar MOCVD is metaal-organyske ferbining (MOC) gas. Metaal-organyske ferbiningen binne stabile ferbiningen dy't produsearre wurde troch organyske stoffen te kombinearjen mei metalen. Organyske ferbiningen hawwe alkyl, aromaatysk. Alkyl omfettet methyl, ethyl, propyl en butyl. Alkyl omfettet methyl, ethyl, propyl en butyl. Aromaatysk omfettet fenylhomologen, trimethylgallium, [Ga(CH3)3], trimetylaluminium [Al(CH3)3] foar de ôfsetting fan mikro-elektroanika, opto-elektroanika, heallieders yn 'e trije, fiif ferbiningen yn 'e filmlaach, lykas Ga(CH3)3 en ammoniak kin yn 'e silisiumwafer of saffier op 'e epitaksiale groei fan LED-lampen yn 'e InGaN-lumineszinte laach sitte. LED-lampen binne mear as 90% enerzjybesparjend as wolfraam gloelampen, mear as 60% enerzjybesparjend as fluoreszinte lampen. LED-lampen binne 90% enerzjysuniger as wolfraam gloelampen en 60% enerzjysuniger as fluoreszinte lampen. Tsjintwurdich brûke alle soarten strjitlampen, ferljochtingslampen en autolampen yn prinsipe LED-ljochtútstjittende films produsearre troch MOCVD.
2. Deposysjetemperatuer
De ûntbiningstemperatuer fan organyske metaalferbiningen is leech, en de ôfsettingstemperatuer is leger as dy fan HCVD. De ôfsettingstemperatuer fan TiN ôfset troch MOCVD kin wurde fermindere nei sawat 500 graden.
– Dit artikel wurdt útjûn trochfabrikant fan fakuümcoatingmasinesGuangdong Zhenhua
Pleatsingstiid: 20 oktober 2023