De technology foar gemyske dampôfsetting mei ferbettere plasma mei hjitte triedbôge brûkt it hjitte triedbôgegewear om bôgeplasma út te stjoeren, ôfkoarte as de PECVD-technology foar hjitte triedbôge. Dizze technology is fergelykber mei de ioncoatingtechnology mei hjitte triedbôgegewear, mar it ferskil is dat de fêste film dy't krigen wurdt troch ioncoating mei hjitte triedbôgegewear de elektroanenstream fan it bôgeljocht brûkt dy't útstjoerd wurdt troch it hjitte triedbôgegewear om it metaal yn 'e kroes te ferwaarmjen en te ferdampen, wylst it PECVD-technology foar hjitte triedbôgeljocht fiede wurdt mei reaksjegassen, lykas CH4 en H2, dy't brûkt wurde foar it ôfsetten fan diamantfilms. Troch te fertrouwen op 'e ûntladingsstroom mei hege tichtheid fan it hjitte triedbôgegewear, wurde de reaktive gasionen oanstutsen om ferskate aktive dieltsjes te krijen, ynklusyf gasionen, atoomionen, aktive groepen, ensafuorthinne.
Yn it PECVD-apparaat mei hjitte triedbôge binne twa elektromagnetyske spoelen noch bûten de coatingkeamer ynstalleare, wêrtroch't de stream fan elektroanen mei hege tichtheid draait tidens de beweging nei de anode ta, wêrtroch't de kâns op botsing en ionisaasje tusken de stream fan elektroanen en it reaksjegas tanimt. De elektromagnetyske spoel kin ek konvergearje yn in bôgekolom om de plasmatichtens fan 'e heule ôfsettingskeamer te ferheegjen. Yn bôgeplasma is de tichtens fan dizze aktive dieltsjes heech, wêrtroch it makliker is om diamantfilms en oare filmlagen op it wurkstik ôf te setten.
—— Dit artikel waard publisearre troch Guangdong Zhenhua Technology, infabrikant fan optyske coatingmasines.
Pleatsingstiid: maaie-05-2023