(1) Sputtergas. It sputtergas moat de skaaimerken hawwe fan hege sputteropbringst, inert foar it doelmateriaal, goedkeap, maklik te krijen hege suverens en oare skaaimerken. Yn 't algemien is argon it idealer sputtergas.
(2) Sputterspanning en substraatspanning. Dizze twa parameters hawwe in wichtige ynfloed op 'e skaaimerken fan' e film, sputterspanning beynfloedet net allinich de ôfsettingssnelheid, mar beynfloedet ek serieus de struktuer fan 'e ôfsette film. Substraatpotinsjeel beynfloedet direkt de elektroanen- of ioanenstream fan minsklike ynjeksje. As it substraat ierd is, wurdt it bombardearre troch lykweardige elektroanen; as it substraat ophongen is, is it yn it glânsûntladingsgebiet om in wat negative potinsjeel relatyf oan 'e ierde fan' e suspensjepotinsjeel V1 te krijen, en de potinsjeel fan it plasma om it substraat V2 is heger as de substraatpotinsjeel, wat sil liede ta in bepaalde mjitte fan bombardemint fan elektroanen en positive ioanen, wat resulteart yn feroaringen yn 'e filmdikte, gearstalling en oare skaaimerken: as it substraat doelbewust biasspanning tapast, sadat it yn oerienstimming is mei de polariteit fan 'e elektryske akseptaasje fan elektroanen of ioanen, kin net allinich it substraat suverje en de adhesion fan' e film ferbetterje, mar ek de struktuer fan 'e film feroarje. Yn 'e radiofrekwinsje sputtercoating, de tarieding fan geleidermembraan plus DC-bias: de tarieding fan diëlektryske membraan plus tuningbias.
(3) Substraattemperatuer. Substraattemperatuer hat in gruttere ynfloed op 'e ynterne spanning fan' e film, wat komt trochdat de temperatuer direkt ynfloed hat op 'e aktiviteit fan' e ôfsette atomen op it substraat, en sa de gearstalling fan 'e film, struktuer, gemiddelde korrelgrutte, kristaloriïntaasje en ûnfolsleinens bepaalt.
– Dit artikel wurdt útjûn trochfabrikant fan fakuümcoatingmasinesGuangdong Zhenhua
Pleatsingstiid: Jan-05-2024