1. Idéal pour la pulvérisation cathodique et le placage de films isolants. Le changement rapide de polarité des électrodes permet de pulvériser directement des cibles isolantes afin d'obtenir des films isolants. Si une source d'alimentation CC est utilisée pour pulvériser et déposer le film isolant, celui-ci empêchera les ions positifs de pénétrer dans la cathode, formant ainsi une couche d'accumulation d'ions positifs, sujette au claquage et à l'inflammation. Après le dépôt du film isolant sur l'anode, les électrons sont bloqués, ce qui entraîne la disparition de l'anode. Lors de l'utilisation d'une source d'alimentation RF pour le revêtement du film isolant, en raison de l'alternance de polarité des électrodes, les charges positives accumulées sur la cathode pendant la première moitié du cycle sont neutralisées par les électrons pendant la seconde moitié du cycle, et les électrons accumulés sur l'anode sont neutralisés par les ions positifs. Le processus inverse, pendant la seconde moitié du cycle, permet d'éliminer l'accumulation de charges sur l'électrode et le processus de décharge peut se poursuivre normalement.
2. Les électrodes haute fréquence génèrent une autopolarisation. Dans un dispositif RF à structure d'électrodes plates, les électrodes haute fréquence du circuit utilisant l'adaptation par couplage capacitif génèrent une tension d'autopolarisation. L'importante différence entre la vitesse de migration des électrons et celle des ions lors de la décharge permet aux électrons d'atteindre une vitesse de déplacement plus élevée à un instant donné, tandis que la vitesse plus lente des ions provoque une accumulation. L'électrode haute fréquence est à un potentiel négatif pendant la majeure partie de chaque cycle, ce qui entraîne une tension négative sur le terrain, phénomène d'autopolarisation de l'électrode haute fréquence.
L'autopolarisation générée par l'électrode de décharge RF accélère le bombardement ionique de la cathode, ce qui permet l'émission continue d'électrons secondaires et maintient le processus de décharge. Cette autopolarisation joue un rôle similaire à la chute de tension cathodique lors d'une décharge luminescente CC. Malgré l'utilisation d'une alimentation RF, la décharge est stable grâce à la tension d'autopolarisation générée par l'électrode haute fréquence, atteignant 500-1 000 V.
3. La décharge radiofréquence joue un rôle important dans la décharge luminescente à pression atmosphérique et la décharge luminescente à barrière diélectrique introduites plus tard.
Date de publication : 21 juin 2023