Kuumalangalla tehostettu plasmakemiallinen höyrypinnoitustekniikka käyttää kuumalankakaaripistoolia valokaariplasman tuottamiseen, lyhennettynä kuumalankakaari-PECVD-tekniikkana. Tämä tekniikka on samanlainen kuin kuumalankakaaripistoolien ionipinnoitustekniikka, mutta ero on siinä, että kuumalankakaaripistoolien ionipinnoitustekniikalla saatu kiinteä kalvo käyttää kuumalankakaaripistoolin lähettämää valokaarielektronivirtaa metallin lämmittämiseen ja höyrystämiseen upokkaassa, kun taas kuumalankakaari-PECVD-laitteeseen syötetään reaktiokaasuja, kuten CH4:ää ja H2:ta, joita käytetään timanttikalvojen kerrostamiseen. Kuumalangalla valokaaripistoolin lähettämän tiheän valokaaripurkausvirran avulla reaktiiviset kaasu-ionit virittyvät, jolloin muodostuu erilaisia aktiivisia hiukkasia, kuten kaasuioneja, atomi-ioneja, aktiivisia ryhmiä ja niin edelleen.
Kuumalangalla toimivassa PECVD-laitteessa pinnoitushuoneen ulkopuolelle on asennettu kaksi sähkömagneettista kelaa, jotka aiheuttavat tiheän elektronivirran pyörimisen anodia kohti suuntautuvan liikkeen aikana, mikä lisää elektronivirran ja reaktiokaasun välisen törmäyksen ja ionisaation todennäköisyyttä. Sähkömagneettinen kela voi myös konvergoitua valokaarikolonniksi, mikä lisää koko pinnoituskammion plasmatiheyttä. Kaariplasmassa näiden aktiivisten hiukkasten tiheys on korkea, mikä helpottaa timanttikalvojen ja muiden kalvokerrosten kerrostamista työkappaleelle.
——Tämän artikkelin julkaisi Guangdong Zhenhua Technology, aoptisten pinnoituskoneiden valmistaja.
Julkaisun aika: 05.05.2023