1. Onuragarria isolamendu-filma sputtering eta plakatzeko. Elektrodoen polaritatearen aldaketa azkarra erabil daiteke zuzenean isolamendu-helburuak sputtering bidez estaltzeko, isolamendu-filmak lortzeko. Korronte zuzeneko energia-iturri bat erabiltzen bada isolamendu-filma sputtering eta metatzeko, isolamendu-filmak ioi positiboak katodora sartzea blokeatuko du, ioi positiboen metatze-geruza bat sortuz, haustura eta pizte joera duena. Isolamendu-film bat anodoan metatu ondoren, elektroiak anodoan sartzea blokeatzen da, eta horrek anodoaren desagerpenaren fenomenoa eragiten du. RF energia-iturri bat erabiltzean isolamendu-filma estaltzeko, elektrodoen polaritate txandakatua dela eta, zikloaren lehen erdian katodoan metatutako karga positiboak zikloaren bigarren erdiko elektroiek neutralizatuko dituzte, eta anodoan metatutako elektroiak ioi positiboek neutralizatuko dituzte. Bigarren ziklo erdiko kontrako prozesuak elektrodoan karga metatzea ezaba dezake, eta deskarga-prozesua normaltasunez jarrai dezake.
2. Maiztasun handiko elektrodoek auto-polarizazioa sortzen dute. Elektrodo lauen egitura duen RF gailuan, akoplamendu kapazitiboa erabiltzen duten zirkuituko maiztasun handiko elektrodoek auto-polarizazio tentsioa sortzen dute. Elektroien migrazio-abiaduraren eta ioien migrazio-abiaduraren arteko alde handiak deskargan elektroiek mugimendu-abiadura handiagoa lortzea ahalbidetzen du une jakin batean, ioien abiadura motelagoak metaketa eragiten duen bitartean. Maiztasun handiko elektrodoa potentzial negatiboan dago ziklo bakoitzaren zatirik handienean, eta horrek tentsio negatiboa sortzen du lurrean, eta hori da maiztasun handiko elektrodoaren auto-polarizazio fenomenoa.
RF deskarga elektrodoak sortutako auto-polarizazioak katodo elektrodoaren ioi bonbardaketa bizkortzen du, bigarren mailako elektroiak etengabe igortzeko deskarga prozesua mantentzeko, eta auto-polarizazioak antzeko eginkizuna betetzen du DC distira deskargan katodoaren jaitsierarekin. RF elikatze iturri bat erabili arren, deskarga egonkorra izan daiteke maiztasun handiko elektrodoak sortutako auto-polarizazio tentsioari esker, 500-1000V-ra iristen baita.
3. Irrati-maiztasuneko deskargak zeregin garrantzitsua du geroago aurkeztuko diren presio atmosferikoko distira-deskargan eta hesi dielektrikoko distira-deskargan.
Argitaratze data: 2023ko ekainaren 21a