Kuumtraadiga kaarega täiustatud plasma keemilise aurustamise tehnoloogia kasutab kuumtraadiga kaarpüstolit kaarplasma emiteerimiseks, mida lühendatult nimetatakse kuumtraadiga kaar-PECVD tehnoloogiaks. See tehnoloogia sarnaneb kuumtraadiga kaarpüstoli ioonkatmistehnoloogiaga, kuid erinevus seisneb selles, et kuumtraadiga kaarpüstoli ioonkatmisega saadud tahke kile kasutab kuumtraadiga kaarpüstoli kiiratavat kaarvalguse elektronvoogu metalli kuumutamiseks ja aurustamiseks tiiglis, samal ajal kui kuumtraadiga kaarvalgus-PECVD-d juhitakse reaktsioonigaasidega, näiteks CH4 ja H2, mida kasutatakse teemantkilede sadestamiseks. Kuumtraadiga kaarpüstoli kiiratava suure tihedusega kaarlahendusvoolu abil ergastuvad reaktiivsed gaasiioonid, et saada mitmesuguseid aktiivseid osakesi, sealhulgas gaasiioone, aatomiioone, aktiivseid rühmi jne.
Kuumtraadiga kaarleekimisseadmes PECVD on katmisruumist väljapoole paigaldatud kaks elektromagnetilist mähist, mis põhjustavad suure tihedusega elektronvoo pöörlemise anoodi suunas liikumise ajal, suurendades elektronvoo ja reaktsioonigaasi kokkupõrke ja ionisatsiooni tõenäosust. Elektromagnetiline mähis võib koonduda kaarekolonniks, et suurendada kogu sadestuskambri plasmatihedust. Kaarplasmas on nende aktiivsete osakeste tihedus suur, mis hõlbustab teemantkilede ja muude kilekihtide sadestamist töödeldavale detailile.
—— Selle artikli avaldas Guangdong Zhenhua Technology, ettevõteoptiliste katmismasinate tootja.
Postituse aeg: 05.05.2023