1. Beneficioso para la pulverización catódica y el recubrimiento de películas aislantes. El cambio rápido de polaridad de los electrodos permite pulverizar directamente los objetivos aislantes para obtener películas aislantes. Si se utiliza una fuente de alimentación de CC para pulverizar y depositar la película aislante, esta bloqueará la entrada de iones positivos al cátodo, formando una capa de acumulación de iones positivos, propensa a la descomposición y la ignición. Tras depositar la película aislante en el ánodo, se bloquea la entrada de electrones, lo que provoca la desaparición del ánodo. Al utilizar una fuente de alimentación de RF para recubrir la película aislante, debido a la polaridad alterna de los electrodos, las cargas positivas acumuladas en el cátodo en la primera mitad del ciclo serán neutralizadas por electrones en la segunda mitad, y los electrones acumulados en el ánodo serán neutralizados por iones positivos. El proceso inverso en la segunda mitad del ciclo puede eliminar la acumulación de cargas en el electrodo, permitiendo que la descarga continúe con normalidad.
2. Los electrodos de alta frecuencia generan autopolarización. En el dispositivo de RF con una estructura de electrodos plana, los electrodos de alta frecuencia del circuito que utilizan acoplamiento capacitivo generan voltaje de autopolarización. La gran diferencia entre la velocidad de migración de electrones y la velocidad de migración de iones durante la descarga permite que los electrones alcancen una mayor velocidad de movimiento en un momento dado, mientras que la menor velocidad de los iones provoca la acumulación. El electrodo de alta frecuencia se encuentra a un potencial negativo durante la mayor parte de cada ciclo, lo que genera un voltaje negativo en el terreno, lo que constituye el fenómeno de la autopolarización del electrodo de alta frecuencia.
La autopolarización generada por el electrodo de descarga de RF acelera el bombardeo iónico del electrodo catódico para emitir continuamente electrones secundarios y mantener el proceso de descarga. Esta autopolarización desempeña un papel similar a la caída de tensión del cátodo en la descarga luminiscente de CC. Aunque se utiliza una fuente de alimentación de RF, la descarga puede ser estable gracias a la tensión de autopolarización generada por el electrodo de alta frecuencia, que alcanza los 500-1000 V.
3. La descarga de radiofrecuencia juega un papel importante en la descarga luminiscente a presión atmosférica y en la descarga luminiscente de barrera dieléctrica introducida más tarde.
Hora de publicación: 21 de junio de 2023