1. Utila por ŝprucado kaj tegado de izola filmo. La rapida ŝanĝo en la poluseco de la elektrodoj povas esti uzata por rekte ŝpruci izolajn celojn por akiri izolajn filmojn. Se oni uzas kontinukurentan energifonton por ŝpruci kaj deponi izolan filmon, la izola filmo blokos pozitivajn jonojn de eniro en la katodon, formante pozitivajn jonajn akumulajn tavolojn, kiuj emas rompiĝi kaj ekbruli. Post deponado de izola filmo sur la anodon, elektronoj estas blokitaj de eniro en la anodon, rezultante en la fenomeno de anoda malapero. Kiam oni uzas RF-energifonton por kovri izolan filmon, pro la alterna poluseco de la elektrodoj, la pozitivaj ŝargoj akumulitaj sur la katodo en la unua duono de la ciklo estos neŭtraligitaj de elektronoj en la dua duono de la ciklo, kaj la elektronoj akumulitaj sur la anodo estos neŭtraligitaj de pozitivaj jonoj. La kontraŭa procezo en la dua duono de la ciklo povas forigi la akumuliĝon de ŝargoj sur la elektrodo, kaj la malŝarĝa procezo povas okazi normale.
2. Altfrekvencaj elektrodoj generas mempolarigon. En RF-aparatoj kun plata elektroda strukturo, la altfrekvencaj elektrodoj en la cirkvito, uzante kapacitan kupladan akordigon, generas mempolarigan tension. La grandega diferenco inter la elektrona migradrapido kaj la jona migradrapido dum malŝarĝo ebligas al elektronoj atingi pli grandan movrapidon en difinita tempo, dum pli malrapida jona rapido kaŭzas akumuliĝon. La altfrekvenca elektrodo havas negativan potencialon dum plejparto de ĉiu ciklo, rezultante en negativa tensio sur la tereno, kio estas la fenomeno de mempolarigo de la altfrekvenca elektrodo.
La membiaso generita de la RF-malŝarĝa elektrodo akcelas la jonbombardon de la katoda elektrodo por kontinue elsendi sekundarajn elektronojn por subteni la malŝarĝan procezon, kaj la membiaso ludas similan rolon al la katoda falo en kontinua fluomalŝarĝo. Kvankam uzante RF-nutran fonton, la malŝarĝo povas esti stabila pro la membiasa tensio generita de la altfrekvenca elektrodo atinganta 500-1000V.
3. Radiofrekvenca malŝargo ludas gravan rolon en la atmosferaprema malŝargo kaj la dielektrika bariera malŝargo, kiuj estas enkondukitaj poste.
Afiŝtempo: 21-a de junio 2023