1. Ευεργετικό για τον ψεκασμό και την επιμετάλλωση μονωτικής μεμβράνης. Η ταχεία αλλαγή στην πολικότητα των ηλεκτροδίων μπορεί να χρησιμοποιηθεί για τον άμεσο ψεκασμό μονωτικών στόχων για την απόκτηση μονωτικών μεμβρανών. Εάν χρησιμοποιηθεί πηγή ισχύος συνεχούς ρεύματος για τον ψεκασμό και την εναπόθεση μονωτικής μεμβράνης, η μονωτική μεμβράνη θα εμποδίσει την είσοδο θετικών ιόντων στην κάθοδο, σχηματίζοντας ένα στρώμα συσσώρευσης θετικών ιόντων, το οποίο είναι επιρρεπές σε διάσπαση και ανάφλεξη. Μετά την εναπόθεση μιας μονωτικής μεμβράνης στην άνοδο, τα ηλεκτρόνια εμποδίζονται να εισέλθουν στην άνοδο, με αποτέλεσμα το φαινόμενο της εξαφάνισης της ανόδου. Όταν χρησιμοποιείται πηγή ισχύος RF για την επικάλυψη της μονωτικής μεμβράνης, λόγω της εναλλασσόμενης πολικότητας των ηλεκτροδίων, τα θετικά φορτία που συσσωρεύονται στην κάθοδο στο πρώτο μισό του κύκλου θα εξουδετερωθούν από ηλεκτρόνια στο δεύτερο μισό του κύκλου και τα ηλεκτρόνια που συσσωρεύονται στην άνοδο θα εξουδετερωθούν από θετικά ιόντα. Η αντίθετη διαδικασία στο δεύτερο μισό του κύκλου μπορεί να εξαλείψει τη συσσώρευση φορτίων στο ηλεκτρόδιο και η διαδικασία εκφόρτισης μπορεί να προχωρήσει κανονικά.
2. Τα ηλεκτρόδια υψηλής συχνότητας παράγουν αυτοπόλωση. Στη συσκευή RF με επίπεδη δομή ηλεκτροδίων, τα ηλεκτρόδια υψηλής συχνότητας στο κύκλωμα που χρησιμοποιούν χωρητική αντιστοίχιση σύζευξης παράγουν τάση αυτοπόλωσης. Η τεράστια διαφορά μεταξύ της ταχύτητας μετανάστευσης ηλεκτρονίων και της ταχύτητας μετανάστευσης ιόντων στην εκκένωση επιτρέπει στα ηλεκτρόνια να επιτύχουν μεγαλύτερη ταχύτητα κίνησης σε δεδομένη χρονική στιγμή, ενώ η χαμηλότερη ταχύτητα ιόντων προκαλεί συσσώρευση. Το ηλεκτρόδιο υψηλής συχνότητας βρίσκεται σε αρνητικό δυναμικό για το μεγαλύτερο μέρος κάθε κύκλου, με αποτέλεσμα αρνητική τάση στο έδαφος, το οποίο είναι το φαινόμενο της αυτοπόλωσης του ηλεκτροδίου υψηλής συχνότητας.
Η αυτοπόλωση που παράγεται από το ηλεκτρόδιο εκκένωσης RF επιταχύνει τον βομβαρδισμό με ιόντα του ηλεκτροδίου καθόδου για συνεχή εκπομπή δευτερογενών ηλεκτρονίων για τη διατήρηση της διαδικασίας εκκένωσης, και η αυτοπόλωση παίζει παρόμοιο ρόλο με την πτώση της καθόδου στην εκκένωση λάμψης DC. Παρόλο που χρησιμοποιείται τροφοδοτικό RF, η εκκένωση μπορεί να είναι σταθερή λόγω της τάσης αυτοπόλωσης που παράγεται από το ηλεκτρόδιο υψηλής συχνότητας που φτάνει τα 500-1000V.
3. Η εκκένωση ραδιοσυχνοτήτων παίζει σημαντικό ρόλο στην εκκένωση λάμψης ατμοσφαιρικής πίεσης και στην εκκένωση λάμψης διηλεκτρικού φραγμού που εισήχθη αργότερα.
Ώρα δημοσίευσης: 21 Ιουνίου 2023