Η εναπόθεση ατμών μεταλλικών οργανικών χημικών ουσιών (MOCVD), η πηγή του αεριώδους υλικού είναι η αέρια μεταλλική οργανική ένωση και η βασική διαδικασία αντίδρασης της εναπόθεσης είναι παρόμοια με την CVD.
1.MOCVD ακατέργαστο αέριο
Η αέρια πηγή που χρησιμοποιείται για το MOCVD είναι το αέριο μεταλλο-οργανικής ένωσης (MOC). Οι μεταλλο-οργανικές ενώσεις είναι σταθερές ενώσεις που παράγονται με τον συνδυασμό οργανικών ουσιών με μέταλλα. Οι οργανικές ενώσεις έχουν αλκυλομάδες, αρωματικές. Τα αλκυλομάδες περιλαμβάνουν μεθύλιο, αιθύλιο, προπύλιο και βουτύλιο. Τα αλκυλομάδες περιλαμβάνουν μεθύλιο, αιθύλιο, προπύλιο και βουτύλιο. Αρωματικές ενώσεις συμπεριλαμβανομένων ομολόγων φαινυλίου, τριμεθυλογάλλιο, [Ga(CH43)3], τριμεθυλοαργίλιο [Al(CH33)3] για την εναπόθεση μικροηλεκτρονικής, οπτοηλεκτρονικής, ημιαγωγών στις τρεις, πέντε ενώσεις στο στρώμα μεμβράνης, όπως Ga(CH33)3 και η αμμωνία μπορεί να βρίσκεται στο πλακίδιο πυριτίου ή στο ζαφείρι στην επιταξιακή ανάπτυξη των λαμπτήρων LED στο στρώμα φωταύγειας InGaN. Οι λαμπτήρες LED είναι περισσότερο από τους λαμπτήρες πυρακτώσεως βολφραμίου που εξοικονομούν ενέργεια κατά 90%, και περισσότερο από 60% από τους λαμπτήρες φθορισμού που εξοικονομούν ενέργεια. Οι λαμπτήρες LED είναι 90% πιο ενεργειακά αποδοτικοί από τους λαμπτήρες πυρακτώσεως βολφραμίου και 60% πιο ενεργειακά αποδοτικοί από τους λαμπτήρες φθορισμού. Σήμερα, όλα τα είδη λαμπτήρων δρόμου, λαμπτήρων φωτισμού και λαμπτήρων αυτοκινήτων χρησιμοποιούν βασικά μεμβράνες LED που εκπέμπουν φως που παράγονται από το MOCVD.
2. Θερμοκρασία εναπόθεσης
Η θερμοκρασία αποσύνθεσης των οργανικών μεταλλικών ενώσεων είναι χαμηλή και η θερμοκρασία εναπόθεσης είναι χαμηλότερη από αυτή του HCVD. Η θερμοκρασία εναπόθεσης του TiN που εναποτίθεται από το MOCVD μπορεί να μειωθεί σε περίπου 500 βαθμούς.
– Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούGuangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 20 Οκτωβρίου 2023