(1) Αέριο ψεκασμού. Το αέριο ψεκασμού θα πρέπει να έχει τα χαρακτηριστικά υψηλής απόδοσης ψεκασμού, αδρανούς ως προς το υλικό-στόχο, φθηνού, εύκολου στην επίτευξη υψηλής καθαρότητας και άλλων χαρακτηριστικών. Γενικά, το αργό είναι το ιδανικότερο αέριο ψεκασμού.
(2) Τάση ψεκασμού και τάση υποστρώματος. Αυτές οι δύο παράμετροι έχουν σημαντικό αντίκτυπο στα χαρακτηριστικά της μεμβράνης. Η τάση ψεκασμού όχι μόνο επηρεάζει τον ρυθμό εναπόθεσης, αλλά επηρεάζει επίσης σοβαρά τη δομή της εναποτιθέμενης μεμβράνης. Το δυναμικό του υποστρώματος επηρεάζει άμεσα τη ροή ηλεκτρονίων ή ιόντων της ανθρώπινης έγχυσης. Εάν το υπόστρωμα είναι γειωμένο, βομβαρδίζεται από ισοδύναμα ηλεκτρόνια. Εάν το υπόστρωμα είναι αιωρούμενο, βρίσκεται στην περιοχή εκκένωσης λάμψης για να αποκτήσει ένα ελαφρώς αρνητικό δυναμικό σε σχέση με το έδαφος του δυναμικού ανάρτησης V1, και το δυναμικό του πλάσματος γύρω από το υπόστρωμα V2 να είναι υψηλότερο από το δυναμικό του υποστρώματος, γεγονός που θα προκαλέσει έναν ορισμένο βαθμό βομβαρδισμού ηλεκτρονίων και θετικών ιόντων, με αποτέλεσμα αλλαγές στο πάχος της μεμβράνης, τη σύνθεση και άλλα χαρακτηριστικά: εάν το υπόστρωμα εφαρμοστεί σκόπιμα τάση πόλωσης, έτσι ώστε να είναι σύμφωνο με την πολικότητα της ηλεκτρικής αποδοχής ηλεκτρονίων ή ιόντων, όχι μόνο μπορεί να καθαρίσει το υπόστρωμα και να ενισχύσει την πρόσφυση της μεμβράνης, αλλά και να αλλάξει τη δομή της μεμβράνης. Στην επίστρωση ψεκασμού ραδιοσυχνοτήτων, η προετοιμασία της μεμβράνης αγωγού συν την πόλωση DC: η προετοιμασία της διηλεκτρικής μεμβράνης συν την πόλωση συντονισμού.
(3) Θερμοκρασία υποστρώματος. Η θερμοκρασία του υποστρώματος έχει μεγαλύτερη επίδραση στην εσωτερική τάση της μεμβράνης, η οποία οφείλεται στο ότι η θερμοκρασία επηρεάζει άμεσα τη δραστηριότητα των ατόμων που εναποτίθενται στο υπόστρωμα, καθορίζοντας έτσι τη σύνθεση της μεμβράνης, τη δομή, το μέσο μέγεθος κόκκων, τον προσανατολισμό των κρυστάλλων και την ατέλεια.
– Αυτό το άρθρο δημοσιεύεται απόκατασκευαστής μηχανών επικάλυψης κενούGuangdong Zhenhua
Ώρα δημοσίευσης: 05 Ιανουαρίου 2024