1. Gavnlig til sputtering og plettering af isoleringsfilm. Den hurtige ændring i elektrodepolaritet kan bruges til direkte at sputtere isoleringsmål for at opnå isoleringsfilm. Hvis en jævnstrømskilde bruges til at sputtere og aflejre isoleringsfilm, vil isoleringsfilmen blokere positive ioner fra at trænge ind i katoden og danne et positivt ionakkumuleringslag, som er tilbøjeligt til nedbrydning og antændelse. Efter aflejring af en isoleringsfilm på anoden blokeres elektroner fra at trænge ind i anoden, hvilket resulterer i fænomenet anodeforsvinden. Når man bruger en RF-strømkilde til at belægge isoleringsfilm, vil de positive ladninger, der akkumuleres på katoden i første halvdel af cyklussen, på grund af elektrodernes alternerende polaritet blive neutraliseret af elektroner i anden halvdel af cyklussen, og de elektroner, der akkumuleres på anoden, vil blive neutraliseret af positive ioner. Den modsatte proces i anden halvdel af cyklussen kan eliminere akkumuleringen af ladninger på elektroden, og afladningsprocessen kan fortsætte normalt.
2. Højfrekvente elektroder genererer selvforspænding. I RF-enheder med en flad elektrodestruktur genererer højfrekvente elektroder i kredsløbet en selvforspændingsspænding ved hjælp af kapacitiv koblingstilpasning. Den store forskel mellem elektronmigrationshastigheden og ionmigrationshastigheden under udladning gør det muligt for elektroner at opnå en større bevægelseshastighed på et givet tidspunkt, mens den langsommere ionhastighed forårsager akkumulering. Højfrekvente elektroden har et negativt potentiale i det meste af hver cyklus, hvilket resulterer i en negativ spænding på terrænet, hvilket er fænomenet med selvforspænding af højfrekvente elektroder.
Den selvforspænding, der genereres af RF-udladningselektroden, accelererer ionbombardementet af katodeelektroden, så den kontinuerligt udsender sekundære elektroner for at opretholde udladningsprocessen, og selvforspændingen spiller en lignende rolle som katodefaldet i DC-glødeudladning. Selvom der anvendes en RF-strømforsyning, kan udladningen være stabil på grund af den selvforspænding, der genereres af højfrekvenselektroden, og som når 500-1000 V.
3. Radiofrekvensudladning spiller en vigtig rolle i den senere introducerede glødudladning under atmosfærisk tryk og dielektrisk barriereglødudladning.
Opslagstidspunkt: 21. juni 2023