1. Buddiol ar gyfer chwistrellu a phlatio ffilm inswleiddio. Gellir defnyddio'r newid cyflym mewn polaredd electrod i chwistrellu targedau inswleiddio yn uniongyrchol i gael ffilmiau inswleiddio. Os defnyddir ffynhonnell pŵer DC i chwistrellu a dyddodi ffilm inswleiddio, bydd y ffilm inswleiddio yn rhwystro ïonau positif rhag mynd i mewn i'r catod, gan ffurfio haen cronni ïonau positif, sy'n dueddol o chwalu a thanio. Ar ôl dyddodi ffilm inswleiddio ar yr anod, mae electronau'n cael eu rhwystro rhag mynd i mewn i'r anod, gan arwain at ffenomen diflaniad yr anod. Wrth ddefnyddio ffynhonnell pŵer RF i orchuddio ffilm inswleiddio, oherwydd polaredd eiledol yr electrodau, bydd y gwefrau positif a gronnwyd ar y catod yn hanner cyntaf y cylch yn cael eu niwtraleiddio gan electronau yn ail hanner y cylch, a bydd yr electronau a gronnwyd ar yr anod yn cael eu niwtraleiddio gan ïonau positif. Gall y broses gyferbyniol yn ail hanner y cylch ddileu cronni gwefrau ar yr electrod, a gall y broses rhyddhau fynd rhagddi fel arfer.
2. Mae electrodau amledd uchel yn cynhyrchu hunan-ragfarn. Yn y ddyfais RF gyda strwythur electrod gwastad, mae'r electrodau amledd uchel yn y gylched gan ddefnyddio paru cyplu capasitif yn cynhyrchu foltedd hunan-ragfarn. Mae'r gwahaniaeth enfawr rhwng cyflymder mudo electronau a chyflymder mudo ïonau wrth ollwng yn galluogi electronau i gyflawni cyflymder symud mwy ar amser penodol, tra bod y cyflymder ïon arafach yn achosi cronni. Mae'r electrod amledd uchel ar botensial negyddol am y rhan fwyaf o bob cylch, gan arwain at foltedd negyddol ar y tir, sef ffenomen hunan-ragfarn yr electrod amledd uchel.
Mae'r hunan-ragwedd a gynhyrchir gan yr electrod rhyddhau RF yn cyflymu'r bomio ïonau ar yr electrod catod i allyrru electronau eilaidd yn barhaus i gynnal y broses rhyddhau, ac mae'r hunan-ragwedd yn chwarae rhan debyg i'r gostyngiad catod mewn rhyddhau tywynnu DC. Er bod cyflenwad pŵer RF yn cael ei ddefnyddio, gall y rhyddhau fod yn sefydlog oherwydd y foltedd hunan-ragwedd a gynhyrchir gan yr electrod amledd uchel sy'n cyrraedd 500-1000V.
3. Mae rhyddhau amledd radio yn chwarae rhan bwysig yn y rhyddhau tywynnu pwysau atmosfferig a'r rhyddhau tywynnu rhwystr dielectrig a gyflwynwyd yn ddiweddarach.
Amser postio: 21 Mehefin 2023