Dyddodiad anwedd cemegol organig metel (MOCVD), ffynhonnell y deunydd nwyol yw nwy cyfansawdd organig metel, ac mae'r broses adwaith sylfaenol o ddyddodiad yn debyg i CVD.
1. Nwy crai MOCVD
Y ffynhonnell nwyol a ddefnyddir ar gyfer MOCVD yw nwy cyfansoddyn metel-organig (MOC). Mae cyfansoddion metel-organig yn gyfansoddion sefydlog a gynhyrchir trwy gyfuno sylweddau organig â metelau. Mae gan gyfansoddion organig alcyl, aromatig. Mae alcyl yn cynnwys methyl, ethyl, propyl, a bwtyl. Mae alcyl yn cynnwys methyl, ethyl, propyl, a bwtyl. Mae aromatig yn cynnwys homologau ffenyl, trimethyl gallium, [Ga(CH3)3], alwminiwm trimethyl [Al(CH3)3] ar gyfer dyddodiad microelectroneg, optoelectroneg, lled-ddargludyddion yn y tri, pum cyfansoddyn yn yr haen ffilm, fel Ga(CH3)3 a gall amonia fod yn y wafer silicon neu saffir ar dwf epitacsial lampau LED yn yr haen luminescent InGaN. Mae lampau LED yn arbed ynni mwy na lampau gwynias twngsten 90%, ac yn arbed ynni mwy na lampau fflwroleuol 60%. Mae lampau LED 90% yn fwy effeithlon o ran ynni na lampau gwynias twngsten a 60% yn fwy effeithlon o ran ynni na lampau fflwroleuol. Y dyddiau hyn, mae pob math o lampau stryd, lampau goleuo a lampau ceir yn defnyddio ffilmiau allyrru golau LED a gynhyrchir gan MOCVD yn y bôn.
2. Tymheredd dyddodiad
Mae tymheredd dadelfennu cyfansoddion metel organig yn isel, ac mae tymheredd y dyddodiad yn is na HCVD. Gellir lleihau tymheredd dyddodiad TiN a adneuwyd gan MOCVD i tua 500 gradd.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Hydref-20-2023