(1) Nwy chwistrellu. Dylai'r nwy chwistrellu fod â nodweddion cynnyrch chwistrellu uchel, anadweithiol i'r deunydd targed, rhad, purdeb uchel hawdd ei gael a nodweddion eraill. Yn gyffredinol, argon yw'r nwy chwistrellu mwyaf delfrydol.
(2) Foltedd chwistrellu a foltedd y swbstrad. Mae gan y ddau baramedr hyn effaith bwysig ar nodweddion y ffilm, nid yn unig y mae foltedd chwistrellu yn effeithio ar y gyfradd dyddodiad, ond mae hefyd yn effeithio'n ddifrifol ar strwythur y ffilm a adneuwyd. Mae potensial y swbstrad yn effeithio'n uniongyrchol ar lif electronau neu ïonau chwistrelliad dynol. Os yw'r swbstrad wedi'i seilio, caiff ei fomio gan electronau cyfatebol; os yw'r swbstrad wedi'i atal, mae yn yr ardal rhyddhau tywynnu i gael potensial ychydig yn negyddol o'i gymharu â'r ddaear o botensial atal V1, ac mae potensial y plasma o amgylch y swbstrad V2 yn uwch na photensial y swbstrad, a fydd yn arwain at rywfaint o fomio electronau ac ïonau positif, gan arwain at newidiadau yn nhrwch y ffilm, cyfansoddiad a nodweddion eraill: os yw'r swbstrad yn cymhwyso foltedd rhagfarn yn bwrpasol, fel ei fod yn unol â pholaredd derbyniad trydanol electronau neu ïonau, nid yn unig y gall buro'r swbstrad a gwella adlyniad y ffilm, ond hefyd newid strwythur y ffilm. Yn y cotio chwistrellu amledd radio, paratoi pilen dargludydd ynghyd â rhagfarn DC: paratoi pilen dielectrig ynghyd â rhagfarn tiwnio.
(3) Tymheredd y swbstrad. Mae tymheredd y swbstrad yn cael mwy o effaith ar straen mewnol y ffilm, oherwydd bod y tymheredd yn effeithio'n uniongyrchol ar weithgaredd yr atomau a adneuwyd ar y swbstrad, gan bennu cyfansoddiad y ffilm, strwythur, maint cyfartalog y grawn, cyfeiriadedd y grisial a'i anghyflawnder.
–Cyhoeddir yr erthygl hon gangwneuthurwr peiriant cotio gwactodGuangdong Zhenhua
Amser postio: Ion-05-2024