1. Výhodné pro naprašování a pokovování izolační fólie. Rychlá změna polarity elektrod může být použita k přímému naprašování izolačních terčů za účelem získání izolačních fólií. Pokud se k naprašování a nanášení izolační fólie použije zdroj stejnosměrného proudu, izolační fólie zablokuje vstup kladných iontů do katody a vytvoří vrstvu akumulující kladné ionty, která je náchylná k průrazu a vznícení. Po nanesení izolační fólie na anodu je vstup elektronů do anody zablokován, což vede k jevu zmizení anody. Při použití RF zdroje energie k nanášení izolační fólie se v důsledku střídavé polarity elektrod kladné náboje nahromaděné na katodě v první polovině cyklu neutralizují elektrony v druhé polovině cyklu a elektrony nahromaděné na anodě budou neutralizovány kladnými ionty. Opačný proces v druhé polovině cyklu může eliminovat akumulaci nábojů na elektrodě a proces vybíjení může probíhat normálně.
2. Vysokofrekvenční elektrody generují vlastní předpětí. V RF zařízení s plochou strukturou elektrod generují vysokofrekvenční elektrody v obvodu využívající kapacitní vazbu vlastní předpětí. Obrovský rozdíl mezi rychlostí migrace elektronů a rychlostí migrace iontů při výboji umožňuje elektronům dosáhnout v daném čase větší rychlosti pohybu, zatímco pomalejší rychlost iontů způsobuje akumulaci potenciálu. Vysokofrekvenční elektroda má po většinu každého cyklu záporný potenciál, což má za následek záporné napětí na povrchu, což je jev vlastního předpětí vysokofrekvenční elektrody.
Vlastní předpětí generované vysokofrekvenční výbojovou elektrodou urychluje iontové bombardování katodové elektrody, čímž dochází k kontinuální emisi sekundárních elektronů pro udržení procesu výboje. Vlastní předpětí hraje podobnou roli jako pokles katodového napětí u stejnosměrného doutnavého výboje. I při použití vysokofrekvenčního napájení může být výboj stabilní díky vlastnímu předpětí generovanému vysokofrekvenční elektrodou, které dosahuje 500–1000 V.
3. Radiofrekvenční výboj hraje důležitou roli v doutnavém výboji za atmosférického tlaku a doutnavém výboji s dielektrickou bariérou, které byly zavedeny později.
Čas zveřejnění: 21. června 2023