1. Beneficu per a sputtering è a placcatura di film isolanti. U cambiamentu rapidu di a polarità di l'elettrodu pò esse adupratu per sputtering direttamente bersagli isolanti per ottene film isolanti. Se una fonte di alimentazione DC hè aduprata per sputtering è deposità film isolanti, u film isolante bluccarà l'ioni pusitivi da entre in u catodu, furmendu un stratu di accumulazione di ioni pusitivi, chì hè propensu à a rottura è à l'accensione. Dopu avè depositatu un film isolante nantu à l'anodu, l'elettroni sò bluccati da entre in l'anodu, risultendu in u fenomenu di sparizione di l'anodu. Quandu si usa una fonte di alimentazione RF per rivestisce u film isolante, per via di a polarità alternata di l'elettrodi, e cariche pusitivi accumulate nantu à u catodu in a prima metà di u ciclu saranu neutralizate da l'elettroni in a seconda metà di u ciclu, è l'elettroni accumulati nantu à l'anodu saranu neutralizati da l'ioni pusitivi. U prucessu oppostu in a seconda metà di u ciclu pò eliminà l'accumulazione di cariche nantu à l'elettrodu, è u prucessu di scarica pò procedere nurmalmente.
2. L'elettrodi d'alta frequenza generanu autopolarizazione. In u dispusitivu RF cù una struttura d'elettrodu pianu, l'elettrodi d'alta frequenza in u circuitu chì utilizanu l'accoppiamentu capacitivu generanu una tensione d'autopolarizazione. L'enorme differenza trà a velocità di migrazione di l'elettroni è a velocità di migrazione di ioni in scarica permette à l'elettroni di ottene una velocità di muvimentu più grande in un mumentu datu, mentre chì a velocità di ioni più lenta provoca accumulazione. L'elettrodu d'alta frequenza hè à un putenziale negativu per a maiò parte di ogni ciclu, risultendu in una tensione negativa nantu à u terrenu, chì hè u fenomenu di l'autopolarizazione di l'elettrodu d'alta frequenza.
L'autopolarizazione generata da l'elettrodu di scarica RF accelera u bombardamentu ionicu di l'elettrodu catodicu per emette continuamente elettroni secundarii per mantene u prucessu di scarica, è l'autopolarizazione ghjoca un rolu simile à a caduta di u catodu in a scarica à bagliore DC. Ancu s'ellu si usa un alimentatore RF, a scarica pò esse stabile per via di a tensione di autopolarizazione generata da l'elettrodu d'alta frequenza chì righjunghje 500-1000V.
3. A scarica di radiofrequenza ghjoca un rollu impurtante in a scarica di incandescenza di a pressione atmosferica è in a scarica di incandescenza di a barriera dielettrica introdutta dopu.
Data di publicazione: 21 di ghjugnu di u 2023