Paggamit sa RF discharge

1.Mapuslanon alang sa sputtering ug plating insulation film. Ang paspas nga pagbag-o sa polarity sa electrode mahimong magamit sa direkta nga pag-sputter sa mga target sa insulating aron makakuha mga insulating film. Kung ang usa ka tinubdan sa kuryente sa DC gigamit sa pag-sputter ug pagdeposito sa insulation film, ang insulation film mag-block sa mga positibo nga ion gikan sa pagsulod sa cathode, nga magporma og positibo nga ion accumulation layer, nga dali nga maguba ug masunog. Human sa pagdeposito sa usa ka insulating film sa anode, ang mga electron gibabagan sa pagsulod sa anode, nga miresulta sa panghitabo sa pagkawala sa anode. Kung gigamit ang usa ka tinubdan sa gahum sa RF sa pagsul-ob sa pelikula sa pagkakabukod, tungod sa alternating polarity sa mga electrodes, ang positibo nga mga singil nga natipon sa cathode sa una nga katunga sa siklo ma-neutralize sa mga electron sa ikaduha nga katunga sa siklo, ug ang mga electron nga natipon sa anode ma-neutralize sa mga positibo nga ion. Ang kaatbang nga proseso sa ikaduha nga katunga nga siklo makawagtang sa pagtipon sa mga singil sa elektrod, ug ang proseso sa pag-discharge mahimong magpadayon nga normal.

2.High frequency electrodes makamugna sa kaugalingon bias. Sa RF device nga adunay flat electrode structure, ang high-frequency electrodes sa circuit gamit ang capacitive coupling matching makamugna og self bias voltage. Ang dako nga kalainan tali sa electron migration speed ug ion migration speed sa discharge makapahimo sa mga electron sa pagkab-ot sa usa ka mas dako nga paglihok speed sa usa ka gihatag nga panahon, samtang ang hinay nga ion speed hinungdan akumulasyon. Ang high-frequency electrode anaa sa usa ka negatibo nga potensyal alang sa kadaghanan sa matag cycle, nga miresulta sa usa ka negatibo nga boltahe sa terrain, nga mao ang panghitabo sa kaugalingon bias sa high-frequency electrode.

Ang self bias nga gihimo sa RF discharge electrode nagpadali sa pagpamomba sa ion sa cathode electrode aron padayon nga magpagawas sa Secondary electron aron mapadayon ang proseso sa pagdiskarga, ug ang self bias adunay susama nga papel sa cathode drop sa DC glow discharge. Bisan kung gigamit ang usa ka suplay sa kuryente sa RF, ang pag-discharge mahimo’g lig-on tungod sa boltahe sa kaugalingon nga bias nga nahimo sa high-frequency nga electrode nga nakaabot sa 500-1000V.

3. Ang radio frequency discharge adunay importante nga papel sa atmospheric pressure glow discharge ug dielectric barrier glow discharge nga gipaila sa ulahi.