(1) Nagabuga nga gas. Ang sputtering gas kinahanglan nga adunay mga kinaiya sa taas nga sputtering nga ani, inert sa target nga materyal, barato, dali nga makuha ang taas nga kaputli ug uban pang mga kinaiya. Sa kinatibuk-an, ang argon mao ang mas maayo nga sputtering gas.
(2) Sputtering boltahe ug substrate boltahe. Kining duha ka mga lantugi adunay usa ka importante nga epekto sa mga kinaiya sa pelikula, sputtering boltahe dili lamang makaapekto sa deposition rate, apan usab seryoso nga makaapekto sa gambalay sa gideposito pelikula. Ang potensyal sa substrate direktang makaapekto sa electron o ion nga dagan sa indeyksiyon sa tawo. Kung ang substrate gi-ground, kini gibombahan sa katumbas nga mga electron; kung ang substrate gisuspinde, kini anaa sa glow discharge area aron makakuha og gamay nga negatibo nga potensyal nga may kalabutan sa yuta sa suspension potential V1, ug ang potensyal sa plasma sa palibot sa substrate V2 nga mas taas pa kay sa substrate potensyal, nga maghatag og pagtaas sa usa ka matang sa pagpamomba sa mga electron ug positibo nga mga ion, nga moresulta sa mga pagbag-o sa gibag-on sa pelikula, komposisyon, ug uban pang mga kinaiya nga gipadapat sa boltahe sa substrate. ang elektrikal nga pagdawat sa mga electron o mga ion, dili lamang makaputli sa substrate ug makapauswag sa pagdikit sa pelikula, kondili usab sa pag-usab sa istruktura sa pelikula. Sa radio frequency sputtering coating, ang pag-andam sa conductor membrane plus DC bias: ang pag-andam sa dielectric membrane plus tuning bias.
(3) Temperatura sa substrate. Ang temperatura sa substrate adunay mas dako nga epekto sa internal nga kapit-os sa pelikula, nga tungod sa temperatura nga direktang makaapekto sa kalihokan sa mga gideposito nga mga atomo sa substrate, sa ingon nagtino sa komposisyon sa pelikula, istruktura, kasagaran nga gidak-on sa lugas, kristal nga oryentasyon ug dili kompleto.
–Kini nga artikulo gipagawas nivacuum coating machine manufacturerGuangdong Zhenhua
Oras sa pag-post: Ene-05-2024