1. Beneficiós per a la polvorització i el recobriment de pel·lícules aïllants. El canvi ràpid de polaritat de l'elèctrode es pot utilitzar per polvoritzar directament objectius aïllants per obtenir pel·lícules aïllants. Si s'utilitza una font d'alimentació de corrent continu per polvoritzar i dipositar pel·lícules aïllants, la pel·lícula aïllant bloquejarà l'entrada d'ions positius al càtode, formant una capa d'acumulació d'ions positius, que és propensa a la ruptura i la ignició. Després de dipositar una pel·lícula aïllant a l'ànode, els electrons es bloquegen i no entren a l'ànode, cosa que provoca el fenomen de la desaparició de l'ànode. Quan s'utilitza una font d'alimentació de radiofreqüència per recobrir pel·lícules aïllants, a causa de la polaritat alterna dels elèctrodes, les càrregues positives acumulades al càtode a la primera meitat del cicle seran neutralitzades pels electrons a la segona meitat del cicle, i els electrons acumulats a l'ànode seran neutralitzats pels ions positius. El procés contrari a la segona meitat del cicle pot eliminar l'acumulació de càrregues a l'elèctrode i el procés de descàrrega pot continuar normalment.
2. Els elèctrodes d'alta freqüència generen autopolarització. En el dispositiu de radiofreqüència amb una estructura d'elèctrode pla, els elèctrodes d'alta freqüència del circuit que utilitzen una adaptació d'acoblament capacitiu generen una tensió d'autopolarització. L'enorme diferència entre la velocitat de migració d'electrons i la velocitat de migració d'ions en la descàrrega permet que els electrons aconsegueixin una velocitat de moviment més gran en un moment donat, mentre que la velocitat d'ions més lenta provoca acumulació. L'elèctrode d'alta freqüència té un potencial negatiu durant la major part de cada cicle, cosa que resulta en una tensió negativa al terreny, que és el fenomen d'autopolarització de l'elèctrode d'alta freqüència.
La polarització pròpia generada per l'elèctrode de descàrrega de RF accelera el bombardeig iònic de l'elèctrode del càtode per emetre contínuament electrons secundaris per mantenir el procés de descàrrega, i la polarització pròpia juga un paper similar a la caiguda del càtode en la descàrrega luminescent de corrent continu. Tot i que s'utilitza una font d'alimentació de RF, la descàrrega pot ser estable a causa de la tensió d'autopolarització generada per l'elèctrode d'alta freqüència que arriba als 500-1000V.
3. La descàrrega de radiofreqüència juga un paper important en la descàrrega luminescent de pressió atmosfèrica i la descàrrega luminescent de barrera dielèctrica que s'introduiran més endavant.
Data de publicació: 21 de juny de 2023