১. ইনসুলেশন ফিল্ম স্পুটারিং এবং প্লেটিং এর জন্য উপকারী। ইলেক্ট্রোড পোলারিটির দ্রুত পরিবর্তন সরাসরি ইনসুলেটিং লক্ষ্যবস্তুগুলিকে স্পুটার করে ইনসুলেটিং ফিল্ম পেতে ব্যবহার করা যেতে পারে। যদি একটি ডিসি পাওয়ার সোর্স ইনসুলেটিং ফিল্ম স্পুটার এবং জমা করার জন্য ব্যবহার করা হয়, তাহলে ইনসুলেটিং ফিল্মটি ধনাত্মক আয়নগুলিকে ক্যাথোডে প্রবেশ করতে বাধা দেবে, যার ফলে একটি ধনাত্মক আয়ন জমা হওয়ার স্তর তৈরি হবে, যা ভাঙন এবং জ্বলনের ঝুঁকিতে থাকবে। অ্যানোডে একটি ইনসুলেটিং ফিল্ম জমা করার পরে, ইলেকট্রনগুলি অ্যানোডে প্রবেশ করতে বাধা পাবে, যার ফলে অ্যানোড অদৃশ্য হয়ে যাবে। ইনসুলেশন ফিল্মকে আবরণ করার জন্য একটি RF পাওয়ার সোর্স ব্যবহার করার সময়, ইলেক্ট্রোডগুলির বিকল্প পোলারিটির কারণে, চক্রের প্রথমার্ধে ক্যাথোডে জমে থাকা ধনাত্মক চার্জগুলি চক্রের দ্বিতীয়ার্ধে ইলেকট্রন দ্বারা নিরপেক্ষ হবে এবং অ্যানোডে জমে থাকা ইলেকট্রনগুলি ধনাত্মক আয়ন দ্বারা নিরপেক্ষ হবে। দ্বিতীয়ার্ধের চক্রের বিপরীত প্রক্রিয়াটি ইলেক্ট্রোডে চার্জ জমা হওয়া বন্ধ করতে পারে এবং স্রাব প্রক্রিয়া স্বাভাবিকভাবে এগিয়ে যেতে পারে।
২. উচ্চ ফ্রিকোয়েন্সি ইলেকট্রোডগুলি স্ব-পক্ষপাত তৈরি করে। সমতল ইলেকট্রোড কাঠামো সহ RF ডিভাইসে, ক্যাপাসিটিভ কাপলিং ম্যাচিং ব্যবহার করে সার্কিটের উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি ইলেকট্রোডগুলি স্ব-পক্ষপাত ভোল্টেজ তৈরি করে। ইলেকট্রন স্থানান্তর গতি এবং স্রাবের সময় আয়ন স্থানান্তর গতির মধ্যে বিশাল পার্থক্য ইলেকট্রনগুলিকে একটি নির্দিষ্ট সময়ে বৃহত্তর গতিতে চলাচল করতে সক্ষম করে, যেখানে ধীর আয়ন গতি জমা হওয়ার কারণ হয়। উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি ইলেকট্রোড প্রতিটি চক্রের বেশিরভাগ সময় নেতিবাচক বিভবতে থাকে, যার ফলে ভূখণ্ডে একটি নেতিবাচক ভোল্টেজ তৈরি হয়, যা উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি ইলেকট্রোডের স্ব-পক্ষপাতের ঘটনা।
RF ডিসচার্জ ইলেক্ট্রোড দ্বারা উৎপন্ন স্ব-পক্ষপাত ক্যাথোড ইলেক্ট্রোডের আয়ন বোমাবর্ষণকে ত্বরান্বিত করে যাতে স্রাব প্রক্রিয়া বজায় রাখার জন্য ক্রমাগত সেকেন্ডারি ইলেকট্রন নির্গত হয় এবং স্ব-পক্ষপাত ডিসি গ্লো ডিসচার্জে ক্যাথোড ড্রপের মতোই ভূমিকা পালন করে। যদিও RF পাওয়ার সাপ্লাই ব্যবহার করা হয়, উচ্চ-ফ্রিকোয়েন্সি ইলেক্ট্রোড দ্বারা উৎপন্ন স্ব-পক্ষপাত ভোল্টেজ 500-1000V পর্যন্ত পৌঁছানোর কারণে স্রাব স্থিতিশীল থাকতে পারে।
৩. পরবর্তীতে প্রবর্তিত বায়ুমণ্ডলীয় চাপের গ্লো ডিসচার্জ এবং ডাইইলেক্ট্রিক ব্যারিয়ার গ্লো ডিসচার্জে রেডিও ফ্রিকোয়েন্সি ডিসচার্জ গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।
পোস্টের সময়: জুন-২১-২০২৩