ধাতু জৈব রাসায়নিক বাষ্প জমা

ধাতব জৈব রাসায়নিক বাষ্প জমা (MOCVD), গ্যাসীয় পদার্থের উৎস হল ধাতব জৈব যৌগ গ্যাস, এবং জমার মৌলিক বিক্রিয়া প্রক্রিয়া CVD-এর অনুরূপ।

১.MOCVD কাঁচা গ্যাস

MOCVD-এর জন্য ব্যবহৃত গ্যাসীয় উৎস হল ধাতু-জৈব যৌগ (MOC) গ্যাস। ধাতু-জৈব যৌগ হল স্থিতিশীল যৌগ যা জৈব পদার্থকে ধাতুর সাথে একত্রিত করে উৎপাদিত হয়। জৈব যৌগগুলিতে অ্যালকাইল, সুগন্ধযুক্ত থাকে। অ্যালকাইলের মধ্যে রয়েছে মিথাইল, ইথাইল, প্রোপিল এবং বিউটাইল। অ্যালকাইলের মধ্যে রয়েছে মিথাইল, ইথাইল, প্রোপিল এবং বিউটাইল। ফিনাইল হোমোলোগ, ট্রাইমিথাইল গ্যালিয়াম, [Ga(CH) সহ সুগন্ধযুক্ত।₃)₃], ট্রাইমিথাইল অ্যালুমিনিয়াম [Al(CH₃)₃] ফিল্ম স্তরের তিনটি, পাঁচটি যৌগ, যেমন Ga(CH₃)₃ এবং InGaN আলোকিত স্তরে LED ল্যাম্পের এপিট্যাক্সিয়াল বৃদ্ধিতে সিলিকন ওয়েফার বা নীলকান্তে অ্যামোনিয়া থাকতে পারে। LED ল্যাম্পগুলি টাংস্টেন ভাস্বর আলোর চেয়ে 90% বেশি শক্তি-সাশ্রয়ী, 60% বেশি শক্তি-সাশ্রয়ী ফ্লুরোসেন্ট ল্যাম্প। LED ল্যাম্পগুলি টাংস্টেন ভাস্বর আলোর চেয়ে 90% বেশি শক্তি-সাশ্রয়ী এবং ফ্লুরোসেন্ট ল্যাম্পের চেয়ে 60% বেশি শক্তি-সাশ্রয়ী। আজকাল, সমস্ত ধরণের রাস্তার বাতি, আলোকসজ্জা এবং অটোমোবাইল ল্যাম্প মূলত MOCVD দ্বারা উত্পাদিত LED আলো-নির্গমনকারী ফিল্ম ব্যবহার করে।

2. জমা তাপমাত্রা

জৈব ধাতব যৌগের পচন তাপমাত্রা কম, এবং জমা তাপমাত্রা HCVD এর চেয়ে কম। MOCVD দ্বারা জমা হওয়া TiN এর জমা তাপমাত্রা প্রায় 500 ডিগ্রিতে কমানো যেতে পারে।

–এই প্রবন্ধটি প্রকাশিত হয়েছেভ্যাকুয়াম লেপ মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া