হট ওয়্যার আর্ক এনহ্যান্সড প্লাজমা কেমিক্যাল ভ্যাপার ডিপোজিশন টেকনোলজিতে হট ওয়্যার আর্ক গান ব্যবহার করে আর্ক প্লাজমা নির্গত হয়, যাকে সংক্ষেপে হট ওয়্যার আর্ক PECVD প্রযুক্তি বলা হয়। এই প্রযুক্তি হট ওয়্যার আর্ক গান আয়ন আবরণ প্রযুক্তির অনুরূপ, তবে পার্থক্য হল হট ওয়্যার আর্ক গান আয়ন আবরণ দ্বারা প্রাপ্ত কঠিন ফিল্মটি হট ওয়্যার আর্ক গান দ্বারা নির্গত আর্ক লাইট ইলেকট্রন প্রবাহ ব্যবহার করে ক্রুসিবলে ধাতুকে উত্তপ্ত এবং বাষ্পীভূত করে, যখন হট ওয়্যার আর্ক লাইট PECVD CH4 এবং H2 এর মতো প্রতিক্রিয়া গ্যাস দিয়ে খাওয়ানো হয়, যা হীরার ফিল্ম জমা করার জন্য ব্যবহৃত হয়। হট ওয়্যার আর্ক গান দ্বারা নির্গত উচ্চ-ঘনত্বের আর্ক ডিসচার্জ কারেন্টের উপর নির্ভর করে, প্রতিক্রিয়াশীল গ্যাস আয়নগুলি গ্যাস আয়ন, পারমাণবিক আয়ন, সক্রিয় গোষ্ঠী ইত্যাদি সহ বিভিন্ন সক্রিয় কণা পেতে উত্তেজিত হয়।
হট ওয়্যার আর্ক PECVD ডিভাইসে, দুটি ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক কয়েল এখনও আবরণ ঘরের বাইরে স্থাপন করা হয়, যার ফলে উচ্চ-ঘনত্বের ইলেকট্রন প্রবাহ অ্যানোডের দিকে চলাচলের সময় ঘোরানো হয়, যার ফলে ইলেকট্রন প্রবাহ এবং বিক্রিয়া গ্যাসের মধ্যে সংঘর্ষ এবং আয়নীকরণের সম্ভাবনা বৃদ্ধি পায়। ইলেক্ট্রোম্যাগনেটিক কয়েলটি একটি আর্ক কলামেও একত্রিত হতে পারে যা পুরো ডিপোজিশন চেম্বারের প্লাজমা ঘনত্ব বাড়ায়। আর্ক প্লাজমাতে, এই সক্রিয় কণাগুলির ঘনত্ব বেশি থাকে, যার ফলে ওয়ার্কপিসে হীরার ফিল্ম এবং অন্যান্য ফিল্ম স্তর জমা করা সহজ হয়।
——এই নিবন্ধটি গুয়াংডং ঝেনহুয়া টেকনোলজি দ্বারা প্রকাশিত হয়েছে, একটিঅপটিক্যাল লেপ মেশিনের প্রস্তুতকারক.
পোস্টের সময়: মে-০৫-২০২৩