1. Благоприятно за разпрашване и нанасяне на изолационен филм. Бързата промяна в полярността на електрода може да се използва за директно разпрашване на изолационни мишени за получаване на изолационни филми. Ако се използва източник на постоянен ток за разпрашване и отлагане на изолационен филм, изолационният филм ще блокира навлизането на положителни йони в катода, образувайки слой за натрупване на положителни йони, който е склонен към разрушаване и запалване. След отлагане на изолационен филм върху анода, електроните се блокират от навлизане в анода, което води до феномена на изчезване на анода. Когато се използва радиочестотен източник на захранване за покриване на изолационния филм, поради редуващата се полярност на електродите, положителните заряди, натрупани върху катода през първата половина на цикъла, ще бъдат неутрализирани от електрони през втората половина на цикъла, а електроните, натрупани върху анода, ще бъдат неутрализирани от положителни йони. Обратният процес през втората половина на цикъла може да елиминира натрупването на заряди върху електрода и процесът на разреждане може да продължи нормално.
2. Високочестотните електроди генерират самонапрежение. В RF устройство с плоска структура на електродите, високочестотните електроди във веригата, използващи капацитивно съгласуване, генерират самонапрежение. Огромната разлика между скоростта на миграция на електроните и скоростта на миграция на йоните при разряд позволява на електроните да постигнат по-голяма скорост на движение в даден момент, докато по-бавната скорост на йоните причинява натрупване. Високочестотният електрод е с отрицателен потенциал през по-голямата част от всеки цикъл, което води до отрицателно напрежение на повърхността, което е феномен на самонапрежение на високочестотния електрод.
Самонапрежението, генерирано от радиочестотния разряден електрод, ускорява йонното бомбардиране на катодния електрод, като по този начин непрекъснато излъчва вторични електрони, поддържайки процеса на разряд. Самонапрежението играе подобна роля на спада на катода при постояннотоков тлеещ разряд. Въпреки че се използва радиочестотно захранване, разрядът може да бъде стабилен поради самонапрежението, генерирано от високочестотния електрод, достигащо 500-1000V.
3. Радиочестотният разряд играе важна роля в тлеещия разряд при атмосферно налягане и диелектричния бариерен тлеещ разряд, въведени по-късно.
Време на публикуване: 21 юни 2023 г.