1. Выгадна для распылення і нанясення пакрыццяў на ізаляцыйную плёнку. Хуткая змена палярнасці электродаў можа быць выкарыстана для непасрэднага распылення ізаляцыйных мішэняў для атрымання ізаляцыйных плёнак. Калі для распылення і нанясення ізаляцыйнай плёнкі выкарыстоўваецца крыніца пастаяннага току, ізаляцыйная плёнка будзе блакаваць трапленне станоўчых іёнаў у катод, утвараючы пласт назапашвання станоўчых іёнаў, які схільны да прабою і ўзгарання. Пасля нанясення ізаляцыйнай плёнкі на анод, трапленне электронаў у анод будзе блакавацца, што прывядзе да з'явы знікнення анода. Пры выкарыстанні крыніцы радыёчастотнага харчавання для пакрыцця ізаляцыйнай плёнкі, з-за чарговай палярнасці электродаў, станоўчыя зарады, назапашаныя на катодзе ў першай палове цыклу, будуць нейтралізаваны электронамі ў другой палове цыклу, а электроны, назапашаныя на анодзе, будуць нейтралізаваны станоўчымі іёнамі. Адваротны працэс у другой палове цыклу можа ліквідаваць назапашванне зарадаў на электродзе, і працэс разраду можа працягвацца нармальна.
2. Высокачастотныя электроды генеруюць уласную напругу зрушэння. У радыёчастотнай прыладзе з плоскай структурай электродаў высокачастотныя электроды ў ланцугу з выкарыстаннем ёмістнай сувязі, якая ўзгадняе напружанне ўласнай напругі зрушэння. Вялікая розніца паміж хуткасцю міграцыі электронаў і хуткасцю міграцыі іонаў у разрадзе дазваляе электронам дасягнуць большай хуткасці руху ў дадзены момант часу, у той час як меншая хуткасць іонаў выклікае назапашванне. Высокачастотны электрод знаходзіцца пад адмоўным патэнцыялам большую частку кожнага цыклу, што прыводзіць да адмоўнага напружання на паверхні, што з'яўляецца з'явай уласнай напругі высокачастотнага электрода.
Уласнае зрушэнне, якое ствараецца радыёчастотным разрадным электродам, паскарае іённую бамбардзіроўку катоднага электрода, што дазваляе бесперапынна выпраменьваць другасныя электроны для падтрымання працэсу разраду, і ўласнае зрушэнне адыгрывае падобную ролю да падзення напружання на катодзе ў тлеючым разрадзе пастаяннага току. Нягледзячы на выкарыстанне радыёчастотнай крыніцы харчавання, разрад можа быць стабільным дзякуючы напружанню ўласнага зрушэння, якое ствараецца высокачастотным электродам і дасягае 500-1000 В.
3. Радыёчастотны разрад адыгрывае важную ролю ў тлеючым разрадзе пры атмасферным ціску і тлеючым разрадзе з дыэлектрычным бар'ерам, уведзеным пазней.
Час публікацыі: 21 чэрвеня 2023 г.