Металаарганічнае хімічнае асаджэнне з паравой фазы (MOCVD), крыніцай газападобнага матэрыялу з'яўляецца металарганічнае злучэнне, а асноўны рэакцыйны працэс асаджэння падобны да CVD.
1. Неапрацаваны газ, атрыманы метадам MOCVD
Крыніцай газу, якая выкарыстоўваецца для MOCVD, з'яўляецца металарганічнае злучэнне (MOC). Металарганічныя злучэнні - гэта стабільныя злучэнні, якія атрымліваюцца шляхам спалучэння арганічных рэчываў з металамі. Арганічныя злучэнні маюць алкільныя і араматычныя злучэнні. Алкільныя злучэнні ўключаюць метыл, этыл, прапіл і буціл. Алкільныя злучэнні ўключаюць метыл, этыл, прапіл і буціл. Араматычныя злучэнні ўключаюць фенільныя гомалогі, трыметылгалій, [Ga(CH3)3], трыметылалюміній [Al(CH3)3] для нанясення мікраэлектронікі, оптаэлектронікі, паўправаднікоў у трох, пяці злучэннях у плёнкавым пласце, такіх як Ga(CH3)3 і аміяк можа знаходзіцца ў крэмніевай пласціне або сапфіры пры эпітаксіяльным росце святлодыёдных лямпаў у люмінесцэнтным пласціне InGaN. Святлодыёдныя лямпы з'яўляюцца энергазберагальнымі на 90% больш, чым вальфрамавыя лямпы напальвання, і больш чым на 60% больш энергазберагальнымі, чым люмінесцэнтныя лямпы. Святлодыёдныя лямпы на 90% больш энергаэфектыўныя, чым вальфрамавыя лямпы напальвання, і на 60% больш энергаэфектыўныя, чым люмінесцэнтныя лямпы. У наш час усе віды вулічных ліхтароў, асвятляльных лямпаў і аўтамабільных лямпаў у асноўным выкарыстоўваюць святлодыёдныя плёнкі, вырабленыя MOCVD.
2. Тэмпература адкладання
Тэмпература раскладання арганічных металічных злучэнняў нізкая, а тэмпература адкладання ніжэйшая, чым пры HCVD. Тэмпература адкладання TiN, атрыманага метадам MOCVD, можа быць зніжана прыкладна да 500 градусаў.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 20 кастрычніка 2023 г.