Тэхналогія плазменна-хімічнага асаджэння з паравой фазы з дапамогай дугавой гарматы з гарачым дротам выкарыстоўвае дугавую гармату з гарачым дротам для выпраменьвання дугавой плазмы, скарочана называецца тэхналогіяй PECVD з гарачым дротам. Гэтая тэхналогія падобная да тэхналогіі іённага пакрыцця з дапамогай дугавой гарматы з гарачым дротам, але адрозненне заключаецца ў тым, што цвёрдая плёнка, атрыманая з дапамогай іённага пакрыцця з дапамогай дугавой гарматы з гарачым дротам, выкарыстоўвае электронны паток, які выпраменьваецца дугавой гарматай з гарачым дротам, для награвання і выпарэння металу ў тыглі, у той час як PECVD з гарачым дротам падаецца рэакцыйнымі газамі, такімі як CH4 і H2, якія выкарыстоўваюцца для нанясення алмазных плёнак. Абапіраючыся на ток дугавога разраду высокай шчыльнасці, які выпраменьваецца дугавой гарматай з гарачым дротам, рэакцыйныя іёны газу ўзбуджаюцца, утвараючы розныя актыўныя часціцы, у тым ліку іёны газу, атамныя іёны, актыўныя групы і г.д.
У прыладзе PECVD з гарачым дротам дзве электрамагнітныя шпулькі ўсё яшчэ ўстаноўлены звонку пакоя для нанясення пакрыцця, што прымушае электронны паток з высокай шчыльнасцю круціцца падчас руху да анода, павялічваючы верагоднасць сутыкнення і іянізацыі паміж электронным патокам і рэакцыйным газам. Электрамагнітная шпулька таксама можа збліжацца ў дугавы слуп, павялічваючы шчыльнасць плазмы ва ўсёй камеры нанясення. У дугавой плазме шчыльнасць гэтых актыўных часціц высокая, што палягчае нанясенне алмазных плёнак і іншых плёнкавых слаёў на апрацоўваную дэталь.
——Гэты артыкул быў апублікаваны кампаніяй Guangdong Zhenhua Technology,вытворца машын для аптычнага пакрыцця.
Час публікацыі: 05.05.2023