(1) Распыляльны газ. Распыляльны газ павінен мець характарыстыкі высокай эфектыўнасці распылення, быць інертным да матэрыялу мішэні, танным, лёгкадаступным, высокай чысціні і іншыя ўласцівасці. У цэлым, аргон з'яўляецца найбольш ідэальным распыляльным газам.
(2) Напружанне распылення і напружанне падкладкі. Гэтыя два параметры аказваюць істотны ўплыў на характарыстыкі плёнкі, напружанне распылення ўплывае не толькі на хуткасць нанясення, але і сур'ёзна ўплывае на структуру напыленай плёнкі. Патэнцыял падкладкі непасрэдна ўплывае на паток электронаў або іонаў пры ін'екцыі чалавека. Калі падкладка зазямлена, яна бамбардзіруецца эквівалентнымі электронамі; калі падкладка падвешана, то ў зоне тлеючага разраду ўзнікае злёгку адмоўны патэнцыял адносна зямлі, патэнцыял суспензіі V1, і патэнцыял плазмы вакол падкладкі V2 перавышае патэнцыял падкладкі, што прыводзіць да пэўнай ступені бамбардзіроўкі электронамі і дадатнымі іонамі, што прыводзіць да змяненняў у таўшчыні плёнкі, яе складзе і іншых характарыстыках: калі да падкладкі мэтанакіравана прыкладзена напружанне зрушэння, каб яно адпавядала палярнасці электрычнага прыёму электронаў або іонаў, гэта можа не толькі ачысціць падкладку і палепшыць адгезію плёнкі, але і змяніць яе структуру. Пры радыёчастотным распыленні падрыхтоўка правадніковай мембраны плюс пастаяннае зрушэнне: падрыхтоўка дыэлектрычнай мембраны плюс наладжвальнае зрушэнне.
(3) Тэмпература падкладкі. Тэмпература падкладкі аказвае большы ўплыў на ўнутранае напружанне плёнкі, бо тэмпература непасрэдна ўплывае на актыўнасць нанесеных атамаў на падкладку, вызначаючы тым самым склад плёнкі, структуру, сярэдні памер зерня, арыентацыю крышталяў і няпоўнасць.
–Гэты артыкул апублікаванывытворца вакуумных пакрыццяўГуандун Чжэньхуа
Час публікацыі: 05 студзеня 2024 г.