1.İzolyasiya filmi püskürtmək və örtmək üçün faydalıdır. Elektrod polaritesinin sürətli dəyişməsi, izolyasiya filmləri əldə etmək üçün izolyasiya hədəflərini birbaşa püskürtmək üçün istifadə edilə bilər. İzolyasiya plyonkasını püskürtmək və yatırmaq üçün bir DC enerji mənbəyi istifadə edilərsə, izolyasiya filmi müsbət ionların katoda daxil olmasını maneə törədərək, parçalanmağa və alışmağa meylli olan müsbət ion toplanması təbəqəsi əmələ gətirir. Anodda bir izolyasiya filmi yerləşdirdikdən sonra elektronların anoda daxil olması bloklanır, nəticədə anodun yox olması fenomeni baş verir. İzolyasiya filmini örtmək üçün RF enerji mənbəyindən istifadə edərkən, elektrodların dəyişən polaritesi səbəbindən dövrün birinci yarısında katodda yığılan müsbət yüklər dövrün ikinci yarısında elektronlar tərəfindən neytrallaşdırılacaq və anodda yığılan elektronlar müsbət ionlarla zərərsizləşdiriləcəkdir. İkinci yarım dövrədə əks proses elektrodda yüklərin yığılmasını aradan qaldıra bilər və boşalma prosesi normal davam edə bilər.
2.High tezlikli elektrodlar öz-özünə qərəz yaradır. Düz elektrod quruluşu olan RF cihazında, kapasitiv birləşmə uyğunluğundan istifadə edərək dövrədəki yüksək tezlikli elektrodlar öz-özünə əyilmə gərginliyi yaradır. Elektron miqrasiya sürəti ilə boşalma zamanı ion miqrasiya sürəti arasındakı böyük fərq, elektronların müəyyən bir zamanda daha çox hərəkət sürətinə nail olmasına imkan verir, daha yavaş ion sürəti isə yığılmağa səbəb olur. Yüksək tezlikli elektrod hər dövrün çox hissəsi üçün mənfi potensiala malikdir və nəticədə yüksək tezlikli elektrodun öz-özünə əyilmə fenomeni olan ərazidə mənfi gərginlik yaranır.
RF boşalma elektrodu tərəfindən yaradılan öz-özünə meyl, boşalma prosesini saxlamaq üçün davamlı olaraq İkincil elektronları yaymaq üçün katod elektrodunun ion bombardmanını sürətləndirir və öz-özünə əyilmə DC parıltı boşalmasında katod düşməsi ilə oxşar rol oynayır. RF enerji təchizatı istifadə olunsa da, 500-1000V-ə çatan yüksək tezlikli elektrod tərəfindən yaradılan öz-özünə əyilmə gərginliyi səbəbindən boşalma sabit ola bilər.
3. Radiotezlik boşalması daha sonra təqdim edilən atmosfer təzyiqinin parıltı boşalmasında və dielektrik maneə parıltı boşalmasında mühüm rol oynayır.
Göndərmə vaxtı: 21 iyun 2023-cü il