Qaynar məftil qövsü ilə gücləndirilmiş plazma kimyəvi buxar çökdürmə texnologiyası qövs plazmasını yaymaq üçün isti naqilli qövs silahından istifadə edir və qısaldılmış isti tel qövsü PECVD texnologiyasıdır. Bu texnologiya isti məftil qövs tapançasının ion örtüyü texnologiyasına bənzəyir, lakin fərq ondan ibarətdir ki, isti naqilli qövs tapançasının ion örtüyü ilə əldə edilən bərk film, qövsdə metalı qızdırmaq və buxarlamaq üçün isti məftil qövs tapançasının yaydığı qövs işığı elektron axınından istifadə edir, isti naqil qövs işığı PECVD isə reaksiya qazları ilə qidalanır, məsələn, diamond üçün istifadə olunan H2. İsti məftilli qövs tapançasının yaydığı yüksək sıxlıqlı qövs boşalma cərəyanına əsaslanaraq, reaktiv qaz ionları müxtəlif aktiv hissəcikləri, o cümlədən qaz ionlarını, atom ionlarını, aktiv qrupları və s. əldə etmək üçün həyəcanlanır.
İsti naqilli qövs PECVD cihazında hələ də örtük otağından kənarda iki elektromaqnit sarğı quraşdırılmışdır ki, bu da anoda doğru hərəkət zamanı yüksək sıxlıqlı elektron axınının fırlanmasına səbəb olur, elektron axını ilə reaksiya qazı arasında toqquşma və ionlaşma ehtimalını artırır. Bütün çökmə kamerasının plazma sıxlığını artırmaq üçün elektromaqnit bobin də bir qövs sütununa birləşə bilər. Qövs plazmasında bu aktiv hissəciklərin sıxlığı yüksəkdir, bu da almaz plyonkaları və digər film təbəqələrini iş parçasına yerləşdirməyi asanlaşdırır.
——Bu məqalə Guangdong Zhenhua Technology, aoptik örtük maşınlarının istehsalçısı.
Göndərmə vaxtı: 05 may 2023-cü il