١. مفيد لرش وطلاء غشاء العزل. يمكن استخدام التغير السريع في قطبية القطب لرشّ أهداف العزل مباشرةً للحصول على غشاء عازل. عند استخدام مصدر طاقة تيار مستمر لرشّ وترسيب غشاء العزل، سيمنع غشاء العزل الأيونات الموجبة من دخول الكاثود، مُشكّلاً طبقة تراكم أيونات موجبة، وهي عرضة للتلف والاشتعال. بعد ترسيب غشاء عازل على الأنود، تُمنع الإلكترونات من دخول الأنود، مما يؤدي إلى ظاهرة اختفاء الأنود. عند استخدام مصدر طاقة ترددات الراديو لطلاء غشاء العزل، وبسبب تناوب قطبية الأقطاب، تُعادل الإلكترونات الموجبة المتراكمة على الكاثود في النصف الأول من الدورة، وتُعادل الإلكترونات المتراكمة على الأنود بواسطة الأيونات الموجبة. يمكن للعملية المعاكسة في النصف الثاني من الدورة أن تُزيل تراكم الشحنات على القطب، وتستمر عملية التفريغ بشكل طبيعي.
٢. تُولّد أقطاب التردد العالي انحيازًا ذاتيًا. في جهاز التردد اللاسلكي ذي البنية المسطحة للأقطاب، تُولّد أقطاب التردد العالي في الدائرة، باستخدام مطابقة الاقتران السعوي، جهد انحياز ذاتي. يُمكّن الفرق الكبير بين سرعة انتقال الإلكترونات وسرعة انتقال الأيونات أثناء التفريغ الإلكترونات من تحقيق سرعة حركة أكبر في وقت معين، بينما تُسبّب سرعة الأيونات البطيئة تراكمًا. يكون جهد القطب عالي التردد سالبًا في معظم كل دورة، مما يُنتج جهدًا سالبًا على السطح، وهي ظاهرة الانحياز الذاتي للقطب عالي التردد.
يُسرّع الانحياز الذاتي الناتج عن قطب التفريغ الترددي اللاسلكي قصف الأيونات لقطب الكاثود، مما يُؤدي إلى إصدار إلكترونات ثانوية باستمرار للحفاظ على عملية التفريغ. ويلعب الانحياز الذاتي دورًا مشابهًا لانخفاض الكاثود في تفريغ توهج التيار المستمر. على الرغم من استخدام مصدر طاقة ترددي لاسلكي، إلا أن التفريغ يكون مستقرًا بفضل جهد الانحياز الذاتي الناتج عن قطب التردد العالي، والذي يتراوح بين 500 و1000 فولت.
3. يلعب تفريغ التردد اللاسلكي دورًا مهمًا في تفريغ توهج الضغط الجوي وتفريغ توهج الحاجز العازل الذي تم تقديمه لاحقًا.
وقت النشر: ٢١ يونيو ٢٠٢٣