الترسيب الكيميائي للبخار العضوي المعدني (MOCVD)، مصدر المادة الغازية هو غاز مركب عضوي معدني، وعملية التفاعل الأساسية للترسيب تشبه عملية الترسيب الكيميائي للبخار.
1. غاز خام MOCVD
المصدر الغازي المستخدم في MOCVD هو غاز مركب عضوي معدني (MOC). المركبات العضوية المعدنية هي مركبات مستقرة تُنتج عن اتحاد المواد العضوية مع المعادن. المركبات العضوية ألكيل، عطرية. تشمل الألكيلات ميثيل، إيثيل، بروبيل، وبوتيل. تشمل الألكيلات ميثيل، إيثيل، بروبيل، وبوتيل. تشمل المركبات العطرية نظائر الفينيل، ثلاثي ميثيل الغاليوم، [Ga(CH3)3]، ثلاثي ميثيل الألومنيوم [Al(CH3)3] لترسيب الإلكترونيات الدقيقة، والإلكترونيات البصرية، وأشباه الموصلات في المركبات الثلاثة والخمسة في طبقة الفيلم، مثل Ga(CH3)3 يمكن أن يتواجد الأمونيا في رقاقة السيليكون أو الياقوت عند النمو الطبقي لمصابيح LED في طبقة InGaN المضيئة. تتفوق مصابيح LED على مصابيح التنغستن المتوهجة بنسبة 90%، وعلى مصابيح الفلورسنت الموفرة للطاقة بنسبة 60%. كما أنها أكثر كفاءة في استهلاك الطاقة بنسبة 90% من مصابيح التنغستن المتوهجة، وأكثر كفاءة في استهلاك الطاقة بنسبة 60% من مصابيح الفلورسنت. حاليًا، تستخدم جميع أنواع مصابيح الشوارع ومصابيح الإنارة ومصابيح السيارات بشكل أساسي أفلام LED الباعثة للضوء التي تنتجها شركة MOCVD.
2. درجة حرارة الترسيب
درجة حرارة تحلل المركبات المعدنية العضوية منخفضة، ودرجة حرارة ترسبها أقل من درجة حرارة ترسب HCVD. يمكن خفض درجة حرارة ترسب TiN المترسب بواسطة MOCVD إلى حوالي 500 درجة.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ٢٠ أكتوبر ٢٠٢٣