(١) غاز الرش. يجب أن يتميز غاز الرش بخصائص عالية، مثل: إنتاجية رش عالية، وخمول في المادة المستهدفة، ورخص ثمنه، وسهولة الحصول عليه، ونقاء عالٍ، وغيرها من الخصائص. بشكل عام، يُعد الأرجون غاز الرش الأمثل.
(٢) جهد الرش وجهد الركيزة. لهذين العاملين تأثيرٌ بالغٌ على خصائص الغشاء، إذ لا يؤثر جهد الرش على معدل الترسيب فحسب، بل يؤثر أيضًا تأثيرًا بالغًا على بنيته. يؤثر جهد الركيزة بشكل مباشر على تدفق الإلكترونات أو الأيونات أثناء الحقن البشري. إذا كانت الركيزة مؤرضة، فإنها تتعرض لقصف إلكترونات مكافئة؛ وإذا كانت الركيزة معلقة، فإنها في منطقة التفريغ المتوهج تكتسب جهدًا سالبًا قليلًا بالنسبة لأرضية جهد التعليق V1، ويكون جهد البلازما المحيط بالركيزة V2 أعلى من جهد الركيزة، مما يؤدي إلى درجة معينة من قصف الإلكترونات والأيونات الموجبة، مما يؤدي إلى تغييرات في سمك الغشاء وتركيبه وخصائصه الأخرى. إذا طُبق جهد انحياز على الركيزة عمدًا، بحيث يتوافق مع قطبية القبول الكهربائي للإلكترونات أو الأيونات، فلن يقتصر الأمر على تنقية الركيزة وتعزيز التصاق الغشاء فحسب، بل سيؤثر أيضًا على بنيته. في طلاء الرش بالترددات الراديوية، تحضير الغشاء الموصل بالإضافة إلى تحيز التيار المستمر: تحضير الغشاء العازل بالإضافة إلى تحيز الضبط.
(3) درجة حرارة الركيزة. تؤثر درجة حرارة الركيزة بشكل أكبر على الإجهاد الداخلي للفيلم، وذلك لأنها تؤثر بشكل مباشر على نشاط الذرات المترسبة على الركيزة، مما يحدد تركيب الفيلم، وبنيته، ومتوسط حجم الحبيبات، واتجاه البلورة، وعدم اكتمالها.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: 05-01-2024